[发明专利]检测设备和检测方法

摘要

本发明构思提供一种检测设备和检测方法，本发明构思包括：使光线性偏振；将线性偏振的光分离成第一光和第二光；将第一光和第二光调制成具有相位差以产生输出波光；将输出波光转换为在第一方向上具有线性线形，以将转换的输出波光照射到被测量对象；接收从被测量对象出来的测量光，并使所述测量光的第一光和第二光线性偏振以产生干涉光；以及从所述干涉光获得被测量对象的图像。所述被测量对象可在与第一方向相交的第二方向上被扫描，或者可围绕与第一方向和第二方向垂直的第三方向上的轴旋转地被扫描，从而以实时速度获得沿二维空间轴的空间光谱椭偏信息(例如，光谱椭偏立方信息)。