[发明专利]检测设备和检测方法

说明书

本发明构思提供一种检测设备和检测方法，本发明构思包括：使光线性偏振；将线性偏振的光分离成第一光和第二光；将第一光和第二光调制成具有相位差以产生输出波光；将输出波光转换为在第一方向上具有线性线形，以将转换的输出波光照射到被测量对象；接收从被测量对象出来的测量光，并使所述测量光的第一光和第二光线性偏振以产生干涉光；以及从所述干涉光获得被测量对象的图像。所述被测量对象可在与第一方向相交的第二方向上被扫描，或者可围绕与第一方向和第二方向垂直的第三方向上的轴旋转地被扫描，从而以实时速度获得沿二维空间轴的空间光谱椭偏信息(例如，光谱椭偏立方信息)。

本申请要求于2018年12月31日在韩国知识产权局提交的第10-2018-0173269号韩国专利申请和于2019年10月1日在韩国知识产权局提交的第10-2019-0121610号韩国专利申请的优先权，该韩国专利申请的全部公开内容通过引用被包含于此。

技术领域

本发明构思涉及检测设备和检测方法，并且更具体地，涉及测量被测量对象的图像的检测设备和检测方法。

背景技术

成像技术已被广泛地用于调查和研究实时改变的物理现象，并且可应用于各种诊断和检测工具。基于偏振的成像技术是适用于不同领域的高分辨率和高精度测量技术中的一种。

大多数偏振测量技术需要机械旋转偏振器机构或电子偏振调制装置。然而，采用机械机构或电子偏振调制的偏振测量技术具有硬件构造复杂和测量时间长的劣势。

发明内容

本发明构思的一些示例实施例提供了一种能够高速测量图像的检测设备和检测方法。

根据本发明构思的一些示例实施例，一种检测设备可包括：光发生器，产生光；第一线性偏振器，使光线性偏振；偏振干涉仪，将线性偏振的光分离为第一光和第二光，并对所述第一光和所述第二光进行调制以具有相位差信息；线转换器，将输出波光转换成在第一方向上具有线性线形并且向被测量对象提供线形的输出波光，所述输出波光是从偏振干涉仪出来的；扫描仪，装载被测量对象，所述扫描仪被配置为使得所述被测量对象在与所述第一方向相交的第二方向上被扫描，或者围绕与所述第一方向和所述第二方向垂直的第三方向上的轴旋转地被扫描；第二线性偏振器，接收测量光并且使所述测量光的第一光和第二光线性偏振以产生干涉光，所述测量光来自通过所述被测量对象的输出波光或从所述被测量对象反射的输出波光；以及成像光谱仪，接收所述干涉光以获得被测量对象的图像。

在特定实施例中，所述线转换器可以是在所述第一方向上伸长的柱面透镜。

在特定实施例中，所述检测设备还可包括成像透镜，所述成像透镜将所述干涉光转换成在所述第一方向上具有线性线形，并且向所述成像光谱仪提供所述线形的干涉光。

在特定实施例中，所述第一方向和所述第二方向可彼此垂直。

在特定实施例中，所述偏振干涉仪可包括：偏振分离器，将线性偏振光分离为第一光和第二光，所述偏振分离器包括入射表面，所述线性偏振的光入射在入射表面上，第一反射表面，所述第一光入射在第一反射表面上，以及第二反射表面，所述第二光入射在第二反射表面上，其中，所述第一反射表面面对所述入射表面，并且其中，所述第一反射表面和所述第二反射表面彼此相邻；第一镜，在所述第一反射表面上；以及第二镜，在所述第二反射表面上。

在特定实施例中，所述第一光在所述第一反射表面和所述第一镜之间往复行进的光程的长度可与所述第二光在所述第二反射表面和所述第二镜之间往复行进的光程的长度不同。所述第一光和所述第二光之间的光程差可以是10μm至100μm。

在特定实施例中，所述第一镜和所述第二镜可具有偏离垂直方向的角度。偏离的角度可在0.02°至0.1°的范围内。