[发明专利]检测设备和检测方法

权利要求书

1.一种检测设备，包括：

光发生器，产生光；

第一线性偏振器，使光线性偏振；

偏振干涉仪，将线性偏振的光分离为第一光和第二光，并对所述第一光和所述第二光进行调制以具有相位差信息；

线转换器，将输出波光转换成在第一方向上具有线性线形并且向被测量对象提供线形的输出波光，所述输出波光是从所述偏振干涉仪出来的；

扫描仪，装载被测量对象，所述扫描仪被配置为使得所述被测量对象在与所述第一方向相交的第二方向上被扫描，或者围绕与所述第一方向和所述第二方向垂直的第三方向上的轴旋转地被扫描；

第二线性偏振器，接收测量光并且使所述测量光的第一光和第二光线性偏振以产生干涉光，所述测量光来自通过所述被测量对象的输出波光或从所述被测量对象反射的输出波光；以及

成像光谱仪，接收所述干涉光以获得被测量对象的图像。

2.根据权利要求1所述的检测设备，其中，所述线转换器是在所述第一方向上伸长的柱面透镜。

3.根据权利要求1所述的检测设备，还包括成像透镜，所述成像透镜将所述干涉光转换成在所述第一方向上具有线性线形，并且向所述成像光谱仪提供所述线形的干涉光。

4.根据权利要求1所述的检测设备，其中，所述第一方向和所述第二方向彼此垂直。

5.根据权利要求1所述的检测设备，其中，所述偏振干涉仪包括：

偏振分离器，将线性偏振光分离为第一光和第二光，所述偏振分离器包括

入射表面，所述线性偏振的光入射到入射表面，

第一反射表面，所述第一光入射在第一反射表面上，以及

第二反射表面，所述第二光入射在第二反射表面上，

其中，所述第一反射表面面对所述入射表面，并且

其中，所述第一反射表面和所述第二反射表面彼此相邻；

第一镜，在所述第一反射表面上；以及

第二镜，在所述第二反射表面上。

6.根据权利要求5所述的检测设备，其中，所述第一光在所述第一反射表面和所述第一镜之间往复行进的光程的长度与所述第二光在所述第二反射表面和所述第二镜之间往复行进的光程的长度不同。

7.根据权利要求6所述的检测设备，其中，所述第一光和所述第二光之间的光程差为10μm至100μm。

8.根据权利要求5所述的检测设备，其中，所述第一镜和所述第二镜具有偏离垂直方向的角度。

9.根据权利要求8所述的检测设备，其中，偏离的角度在0.02°至0.1°的范围内。

10.根据权利要求5所述的检测设备，其中，

所述输出波光以偏离垂直于被测量对象的方向的测量角照射，并且

所述测量光以偏离垂直于被测量对象的方向的测量角反射。

11.根据权利要求10所述的检测设备，其中，所述输出波光的传播方向、所述测量光的传播方向和所述第二方向设置在同一平面上。

12.根据权利要求10所述的检测设备，其中，

所述偏振分离器是非偏振光束分离器，并且

所述偏振干涉仪还包括：

第一子线性偏振器，在所述偏振分离器的第一反射表面和第一镜之间；以及

第二子线性偏振器，在所述偏振分离器的第二反射表面和第二镜之间，

其中，所述第一子线性偏振器和所述第二子线性偏振器具有高达90°的偏振差。

13.根据权利要求12所述的检测设备，其中，所述线转换器设置在所述偏振干涉仪和所述被测量对象之间。