[发明专利]一种用于镀膜机镀膜室的门阀结构在审
| 申请号： | 201911116185.1 | 申请日： | 2019-11-15 |
| 公开（公告）号： | CN112815141A | 公开（公告）日： | 2021-05-18 |
| 发明（设计）人： | 祝海生;黄乐;孙桂红;陶尚;陈立 | 申请（专利权）人： | 湘潭宏大真空技术股份有限公司 |
| 主分类号： | F16K31/163 | 分类号： | F16K31/163;C23C14/22 |
| 代理公司： | 湖南乔熹知识产权代理事务所(普通合伙) 43262 | 代理人： | 安曼 |
| 地址： | 411100 湖*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种用于镀膜机镀膜室的门阀结构，所述镀膜生产线包括多个依次连接的箱体，各箱体内为腔室，待镀膜的基片在各所述腔室内运行，每个箱体的腔室为一个独立的功能室，待镀膜的基片在每个独立的腔室内完成相应工艺，各箱体之间设有门阀结构，所述门阀结构包括两组传动组件、阀轴、两个连接套、多个连接座和阀体，两组传动组件分别通过两个连接套连接在阀轴的两端，阀轴和阀体通过连接座固定连接，两组传动组件连接并驱动阀轴转动，阀轴带动阀体同步转动。本发明的阀轴两端通过两个气缸驱动，阀轴受力均匀、运行平稳，使阀轴带动阀体打开或关闭平稳，所述门阀结构组成简单、运动传递可靠，主要通过机械结构完成，成本低。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 镀膜 门阀 结构 | ||
【主权项】：
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