[发明专利]一种用于镀膜机镀膜室的门阀结构在审

专利信息
申请号: 201911116185.1 申请日: 2019-11-15
公开(公告)号: CN112815141A 公开(公告)日: 2021-05-18
发明(设计)人: 祝海生;黄乐;孙桂红;陶尚;陈立 申请(专利权)人: 湘潭宏大真空技术股份有限公司
主分类号: F16K31/163 分类号: F16K31/163;C23C14/22
代理公司: 湖南乔熹知识产权代理事务所(普通合伙) 43262 代理人: 安曼
地址: 411100 湖*** 国省代码: 湖南;43
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摘要:
搜索关键词: 一种 用于 镀膜 门阀 结构
【权利要求书】:

1.一种用于镀膜机镀膜室的门阀结构,所述镀膜生产线包括多个依次连接的箱体(1),各箱体(1)内为腔室,待镀膜的基片在各所述腔室内运行,每个箱体(1)的腔室为一个独立的功能室,待镀膜的基片在每个独立的腔室内完成相应工艺,各箱体(1)之间设有门阀结构,所述门阀结构包括两组传动组件、阀轴(5)、两个连接套(7)、多个连接座(10)和阀体(9),两组传动组件分别通过两个连接套(7)连接在阀轴(5)的两端,阀轴(5)和阀体(9)通过连接座(10)固定连接,两组传动组件连接并驱动阀轴(5)转动,阀轴(5)带动阀体(9)同步转动。

2.根据权利要求1所述的用于镀膜机镀膜室的门阀结构,其特征在于:传动组件包括气缸组件、传动机构(6)和传动座(8),气缸组件、传动机构(6)、传动座(8)、阀轴(5)和阀体(9)依次连接,气缸组件的气缸轴伸出或收缩,通过传动机构(6)和传动座(8)带动阀轴(5)转动,阀轴(5)带动阀体(9)移动,使阀体(9)打开或关闭相应腔室。

3.根据权利要求2所述的用于镀膜机镀膜室的门阀结构,其特征在于:气缸组件包括气缸(2)、安装座(3)和多个螺栓(4),安装座(3)通过螺栓(4)固定安装在箱体(1)的壁面上,气缸(2)安装在安装座(3)上。

4.根据权利要求3所述的用于镀膜机镀膜室的门阀结构,其特征在于:传动机构(6)包括铰接座(61)和伸缩套(62),铰接座(61)位于气缸轴的一端,气缸轴和伸缩套(62)的一端通过铰接座(61)铰接,伸缩套(62)的另一端固定连接传动座(8)的一端。

5.根据权利要求4所述的用于镀膜机镀膜室的门阀结构,其特征在于:伸缩套(62)包括两个彼此套接的套筒,一个套筒滑设在另一个套筒内部。

6.根据权利要求5所述的用于镀膜机镀膜室的门阀结构,其特征在于:传动座包括第一连接端(81)、第二连接端(82)和中部支撑(83),第一连接端(81)、中部支撑(83)和第二连接端(82)依次固定连接,第一连接端(81)和第二连接端(82)外部均开设有外轮齿,中部支撑(83)的外径大于第一连接端(81)和第二连接端(82)的外径。

7.根据权利要求6所述的用于镀膜机镀膜室的门阀结构,其特征在于:中部支撑(83)连接在箱体(1)的壁面上,且中部支撑(83)和箱体(1)的壁面之间设有轴承,伸缩套(62)的一端为开设有内轮齿的筒状,且套接在第一连接端(81)的外部,所述第一连接端(81)的外轮齿和伸缩套(62)一端的外轮齿啮合,连接套(7)为内部开设有内轮齿的筒状体,第二连接端(82)的套接在连接套(7)内部,第二连接端(82)的外轮齿和连接套(7)的内轮齿啮合。

8.根据权利要求7所述的用于镀膜机镀膜室的门阀结构,其特征在于:阀轴(5)的两端外部均设有外轮齿,且阀轴(5)的两端各套接在一连接套(7)内部,如此,当阀轴的两端的气缸(2)的气缸轴同时伸出或收缩时,共同带动阀轴(5)转动。

9.根据权利要求8所述的用于镀膜机镀膜室的门阀结构,其特征在于:阀轴(5)的中部均匀间隔设有多个连接座(10),连接座上设有两个独立的通孔,两个通孔的中心线平行间隔布置,阀轴(5)穿过多个连接座(10)的一个通孔,且通过多个固定螺栓将所述连接座(10)固定在阀轴(5)上。

10.根据权利要求9所述的用于镀膜机镀膜室的门阀结构,其特征在于:阀体(9)为杆状,阀体(9)穿过多个连接座(10)的另一个通孔,且通过多个固定螺栓将所述连接座(10)固定在阀体(9)上,阀轴(5)长度方向和阀体(9)的长度方向平行。

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