[发明专利]一种用于镀膜机镀膜室的门阀结构

说明书

本发明提供了一种用于镀膜机镀膜室的门阀结构，所述镀膜生产线包括多个依次连接的箱体，各箱体内为腔室，待镀膜的基片在各所述腔室内运行，每个箱体的腔室为一个独立的功能室，待镀膜的基片在每个独立的腔室内完成相应工艺，各箱体之间设有门阀结构，所述门阀结构包括两组传动组件、阀轴、两个连接套、多个连接座和阀体，两组传动组件分别通过两个连接套连接在阀轴的两端，阀轴和阀体通过连接座固定连接，两组传动组件连接并驱动阀轴转动，阀轴带动阀体同步转动。本发明的阀轴两端通过两个气缸驱动，阀轴受力均匀、运行平稳，使阀轴带动阀体打开或关闭平稳，所述门阀结构组成简单、运动传递可靠，主要通过机械结构完成，成本低。

技术领域

本发明涉及镀膜生产技术领域，具体为一种用于镀膜机镀膜室的门阀结构。

背景技术

真空镀膜是以真空技术为基础，利用物理或化学方法，并吸收电子束、分子束、离子束、等离子束、射频和磁控等一系列新技术，在真空中把金属、合金或化合物进行蒸发或溅射，使其在被涂覆的物体(称基板、基片或基体)上凝固并沉积的方法。镀膜工艺在镀膜生产线上完成，镀膜生产线包括多个依次连接的工作腔室，待镀膜的各个腔室之间需要设有门阀，门阀可开启或关闭，开启时，对应相邻的两个腔室或者对应的腔室与外部环境连通，关闭时，对应的腔室与其它腔室或外部环境隔离。现有的门阀结构复杂，操作繁琐，且密封不严。

发明内容

针对现有技术存在的上述问题，本发明的目的是提供一种用于镀膜机镀膜室的门阀结构，门阀结构通过各阀轴自转带动阀体打开或关闭，阀轴两端通过两个气缸驱动，阀轴受力均匀、运行平稳，使阀轴带动阀体打开或关闭平稳，所述门阀结构组成简单、运动传递可靠，主要通过机械结构完成，成本低。

为了实现上述目的，本发明所采用的技术方案是：

一种用于镀膜机镀膜室的门阀结构，所述镀膜生产线包括多个依次连接的箱体，各箱体内为腔室，待镀膜的基片在各所述腔室内运行，每个箱体的腔室为一个独立的功能室，待镀膜的基片在每个独立的腔室内完成相应工艺，各箱体之间设有门阀结构，所述门阀结构包括两组传动组件、阀轴、两个连接套、多个连接座和阀体，两组传动组件分别通过两个连接套连接在阀轴的两端，阀轴和阀体通过连接座固定连接，两组传动组件连接并驱动阀轴转动，阀轴带动阀体同步转动。

作为上述技术方案的进一步改进为：

传动组件包括气缸组件、传动机构和传动座，气缸组件、传动机构、传动座、阀轴和阀体依次连接，气缸组件的气缸轴伸出或收缩，通过传动机构和传动座带动阀轴转动，阀轴带动阀体移动，使阀体打开或关闭相应腔室。

气缸组件包括气缸、安装座和多个螺栓，安装座通过螺栓固定安装在箱体的壁面上，气缸安装在安装座上。

传动机构包括铰接座和伸缩套，铰接座位于气缸轴的一端，气缸轴和伸缩套的一端通过铰接座铰接，伸缩套的另一端固定连接传动座的一端。

伸缩套包括两个彼此套接的套筒，一个套筒滑设在另一个套筒内部。

传动座包括第一连接端、第二连接端和中部支撑，第一连接端、中部支撑和第二连接端依次固定连接，第一连接端和第二连接端外部均开设有外轮齿，中部支撑的外径大于第一连接端和第二连接端的外径。

中部支撑连接在箱体的壁面上，且中部支撑和箱体的壁面之间设有轴承，伸缩套的一端为开设有内轮齿的筒状，且套接在第一连接端的外部，所述第一连接端的外轮齿和伸缩套一端的外轮齿啮合，连接套为内部开设有内轮齿的筒状体，第二连接端的套接在连接套内部，第二连接端的外轮齿和连接套的内轮齿啮合。

阀轴的两端外部均设有外轮齿，且阀轴的两端各套接在一连接套内部，如此，当阀轴的两端的气缸的气缸轴同时伸出或收缩时，共同带动阀轴转动。

阀轴的中部均匀间隔设有多个连接座，连接座上设有两个独立的通孔，两个通孔的中心线平行间隔布置，阀轴穿过多个连接座的一个通孔，且通过多个固定螺栓将所述连接座固定在阀轴上。