[发明专利]镀膜生产线的真空系统在审

专利信息
申请号: 201911116054.3 申请日: 2019-11-15
公开(公告)号: CN112813401A 公开(公告)日: 2021-05-18
发明(设计)人: 唐洪波;黄乐;孙桂红;黄国兴;祝海生 申请(专利权)人: 湘潭宏大真空技术股份有限公司
主分类号: C23C14/56 分类号: C23C14/56
代理公司: 湖南乔熹知识产权代理事务所(普通合伙) 43262 代理人: 安曼
地址: 411100 湖*** 国省代码: 湖南;43
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摘要: 发明提供了镀膜生产线的真空系统,所述镀膜生产线包括多个依次连接的箱体,各箱体内为腔室,待镀膜的基片在各所述腔室内运行,待镀膜的基片在每个独立的腔室内完成相应工艺,各箱体之间设有门阀,以将各个箱体对应的腔室分隔开来,所述真空系统,包括至少一泵组、主抽气管道、至少一泵组管道和多组抽真空组件,每个箱体设有一组抽真空组件,各组抽真空组件并联连接后通过主抽气管道和泵组管道连接泵组。本发明所述真空系统均匀布置在各个箱体上,保证各个腔室均匀的被抽真空;各个腔室之间设有门阀,使各个腔室被分隔成独立的功能室;包括波纹管和支撑架,有效降低抽取真空时的震动和噪声;各部件充分利用镀膜生产线的高度差,布置紧凑。
搜索关键词: 镀膜 生产线 真空 系统
【主权项】:
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