[发明专利]镀膜生产线的真空系统

摘要

本发明提供了镀膜生产线的真空系统，所述镀膜生产线包括多个依次连接的箱体，各箱体内为腔室，待镀膜的基片在各所述腔室内运行，待镀膜的基片在每个独立的腔室内完成相应工艺，各箱体之间设有门阀，以将各个箱体对应的腔室分隔开来，所述真空系统，包括至少一泵组、主抽气管道、至少一泵组管道和多组抽真空组件，每个箱体设有一组抽真空组件，各组抽真空组件并联连接后通过主抽气管道和泵组管道连接泵组。本发明所述真空系统均匀布置在各个箱体上，保证各个腔室均匀的被抽真空；各个腔室之间设有门阀，使各个腔室被分隔成独立的功能室；包括波纹管和支撑架，有效降低抽取真空时的震动和噪声；各部件充分利用镀膜生产线的高度差，布置紧凑。