[发明专利]镀膜生产线的真空系统

说明书

本发明提供了镀膜生产线的真空系统，所述镀膜生产线包括多个依次连接的箱体，各箱体内为腔室，待镀膜的基片在各所述腔室内运行，待镀膜的基片在每个独立的腔室内完成相应工艺，各箱体之间设有门阀，以将各个箱体对应的腔室分隔开来，所述真空系统，包括至少一泵组、主抽气管道、至少一泵组管道和多组抽真空组件，每个箱体设有一组抽真空组件，各组抽真空组件并联连接后通过主抽气管道和泵组管道连接泵组。本发明所述真空系统均匀布置在各个箱体上，保证各个腔室均匀的被抽真空；各个腔室之间设有门阀，使各个腔室被分隔成独立的功能室；包括波纹管和支撑架，有效降低抽取真空时的震动和噪声；各部件充分利用镀膜生产线的高度差，布置紧凑。

技术领域

本发明涉及镀膜生产技术领域，具体为镀膜生产线的真空系统。

背景技术

真空镀膜是以真空技术为基础，利用物理或化学方法，并吸收电子束、分子束、离子束、等离子束、射频和磁控等一系列新技术，在真空中把金属、合金或化合物进行蒸发或溅射，使其在被涂覆的物体(称基板、基片或基体)上凝固并沉积的方法。镀膜工艺在镀膜生产线上完成，镀膜生产线包括多个依次连接的工作腔室，待镀膜的基片在各腔室内运行进行镀膜。各腔室需要进行抽真空，布置抽真空装置，而将各抽真空装置配合各腔室时，如何高效的进行抽真空工作并配合有效密封是现有技术中欠缺的。

发明内容

针对现有技术存在的上述问题，本发明的目的是提供镀膜生产线的真空系统，所述真空系统均匀布置在各个箱体上，保证各个腔室均匀的被抽真空；各个腔室之间设有门阀，使各个腔室被分隔成独立的功能室，能被单独抽取真空；包括波纹管和支撑架，有效降低抽取真空时的震动和噪声；所述系统各部件充分利用镀膜生产线的高度差，布置紧凑。

为了实现上述目的，本发明所采用的技术方案是：

镀膜生产线的真空系统，所述镀膜生产线包括多个依次连接的箱体，各箱体内为腔室，待镀膜的基片在各所述腔室内运行，待镀膜的基片在每个独立的腔室内完成相应工艺，各箱体之间设有门阀，以将各个箱体对应的腔室分隔开来，所述真空系统，包括至少一泵组、主抽气管道、至少一泵组管道和多组抽真空组件，每个箱体设有一组抽真空组件，各组抽真空组件并联连接后通过主抽气管道和泵组管道连接泵组。

作为上述技术方案的进一步改进为：

抽真空组件包括至少一个分子泵、一个分子泵管道、耦合器和波纹管。

每组抽真空组件包括两个分子泵，分子泵安装在箱体的壁面上，分子泵穿过所述箱体的壁面，分子泵的出口位于箱体内的腔室内，分子泵的另一端位于箱体的外部。

分子泵和所述壁面之间设置密封装置。

每个箱体的两个分子泵间隔布置在箱体壁面上，两个分子泵通过分子泵管道连接，分子泵管道垂直于水平面，且分子泵管道位于箱体的外部。

分子泵管道的下端依次连接耦合器和波纹管。

分子泵上设有切断腔室和分子泵连通的关断阀。

所述腔室内设有监测真空度的真空计。

多个波纹管并联连接至主抽气管道，主抽气管道位于底座上，底座固定于地面上。

设有两根主抽气管道，所有的分子泵、分子泵管道、耦合器和波纹管均匀分布在箱体连接形成的镀膜生产线的两侧，且镀膜生产线的两侧各布置一根主抽气管道，每侧的波纹管连接至本侧的主抽气管道上。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：所述真空系统均匀布置在各个箱体上，保证各个腔室均匀的被抽真空；各个腔室之间设有门阀，使各个腔室被分隔成独立的功能室，能被单独抽取真空；包括波纹管和支撑架，有效降低抽取真空时的震动和噪声；所述系统各部件充分利用镀膜生产线的高度差，布置紧凑。

附图说明

图1为本发明一个实施例的结构示意图；