[发明专利]成膜装置以及成膜系统在审
| 申请号： | 201911115831.2 | 申请日： | 2019-11-15 |
| 公开（公告）号： | CN111690895A | 公开（公告）日： | 2020-09-22 |
| 发明（设计）人： | 本田淳雄 | 申请（专利权）人： | 佳能特机株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/12;C23C14/24;C23C14/56;H01L51/56 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 邓宗庆 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及成膜装置以及成膜系统。寻求在真空腔的内部为大气压的状态和被减压后的状态下施加于腿部的载荷平衡的变化小且对准机构的动作精度高的成膜装置。成膜装置具有：能够对内部进行减压的真空腔和将所述真空腔的底面支承于地面的多个腿部，其特征在于，所述真空腔具有在投影于所述地面时投影形状为N边形的形状，所述成膜装置具有N+1个以上的所述多个腿部，所述多个腿部向所述地面投影的投影位置处于包含在所述真空腔的投影形状内的环形区域内。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 以及 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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