[发明专利]成膜装置以及成膜系统

说明书

本发明涉及成膜装置以及成膜系统。寻求在真空腔的内部为大气压的状态和被减压后的状态下施加于腿部的载荷平衡的变化小且对准机构的动作精度高的成膜装置。成膜装置具有：能够对内部进行减压的真空腔和将所述真空腔的底面支承于地面的多个腿部，其特征在于，所述真空腔具有在投影于所述地面时投影形状为N边形的形状，所述成膜装置具有N+1个以上的所述多个腿部，所述多个腿部向所述地面投影的投影位置处于包含在所述真空腔的投影形状内的环形区域内。

技术领域

本发明涉及使用腿部设置于地面的成膜装置。尤其是，涉及具备能够对内部进行减压的真空腔的成膜装置。

背景技术

近年来，自发光型且视角、对比度、响应速度优异的有机EL元件被广泛地应用于以壁挂式电视为代表的各种显示装置。

通常，有机EL元件通过将基板送入成膜腔内并在基板上形成规定图案的有机膜的方法来制造。更详细地说，经过向被减压后的成膜腔内送入基板的工序、使基板与掩模高精度地对位(对准)的工序、成膜有机材料的工序、将已成膜的基板从成膜腔送出的工序等来制造。

为了实施该制造工序，成膜装置具备能够对内部进行减压的真空腔和附带设置于该真空腔的对准机构等。

由于具备作为耐大气压容器的真空腔的成膜装置是重量大的装置，因此，不是将真空腔的底面直接载置于地面，而是经由多个腿部设置于地面。

在专利文献1中，虽然不是成膜装置的领域，但在重量大的MRI装置中，记载有对装置的底面进行支承的能够弹性变形的支承腿。在俯视时具有圆形形状的MRI装置中，公开了为了对静磁场产生源因装置的底面振动而振动进行抑制而改良的支承腿。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2007-222431号公报

近年来，随着成膜装置处理的基板尺寸的大型化，成膜装置的真空腔存在大型化的倾向。若真空腔大型化而使底板、顶板、侧板的面积变大，则在对腔室内进行减压时，这些板材被大气压推压而较大地变形。

在此，列举图5(a)所示的成膜装置为一例进行说明。图5(a)是示意性地表示腔室内被减压前、即腔室内成为大气压的状态的成膜装置的剖视图。图中的附图标记1000是成膜装置，101是真空腔的顶板，102是真空腔的侧板，103是真空腔的底板，顶板101、侧板102以及底板103相互接合而形成气密容器。104是腔室内空间，115是蒸镀源。在腔室内空间104，在隔着掩模113与基板111相向的位置配置有蒸镀源115。基板111由基板支承部112支承，掩模113由掩模支承部114支承。基板支承部112和掩模支承部114在确保气密性的状态下贯穿顶板101而延伸至真空腔的外侧，并与对准机构117连接。对准机构117对基板支承部112以及/或者掩模支承部114的姿势进行调整来进行基板111和掩模113的对位。

在底板103的下表面固定有用于支承成膜装置1000的腿部106A～腿部106F，在腔室内成为大气压的状态下，腿部106A～腿部106F全部与地面118接地。腿部106A～腿部106F通过连结部件120连结，整体构成基座。

在图5(b)中示出成膜装置1000的仰视图，在真空腔的矩形的底面附设有作为结构加强件的肋144、作为排气装置的泵145等。腿部106A～腿部106F避开设置有肋144、真空泵的场所而配置。为了进行成膜，若驱动真空泵来对真空腔内进行减压，则真空腔的壁由于与大气压的压力差而变形。

图6是示意性地表示对真空腔内进行减压的状态下的成膜装置的形状的剖视图。若底板103被大气压推压而开始变形，则施加于各腿部的重量平衡发生变化，若底板的变形进一步变大，则腿部106A～腿部106F中的一部分腿部从地面118离开。