[发明专利]一种制程设备的控制方法及装置在审
| 申请号： | 201911110083.9 | 申请日： | 2019-11-14 |
| 公开（公告）号： | CN110907135A | 公开（公告）日： | 2020-03-24 |
| 发明（设计）人： | 闫立磊 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号： | G01M11/00 | 分类号： | G01M11/00 |
| 代理公司： | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人： | 唐秀萍 |
| 地址： | 518132 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种制程设备的控制方法及装置，该方法包括：对每种制程设备在预设时长内制备的每个显示面板进行检测，当检测到所述显示面板存在缺陷时，确定所述缺陷所属的类别以及获取每种缺陷的数量，得到多个检测数据；根据所述多个检测数据获取每种制程设备制备的显示面板存在的各种缺陷的总数；根据各种缺陷的总数判断所述制程设备是否出现异常；若所述制程设备出现异常，则对所述制程设备进行异常处理。本发明的制程设备的控制方法及装置，能够提高产品良率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 设备 控制 方法 装置 | ||
【主权项】：
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