[发明专利]一种制程设备的控制方法及装置在审
申请号: | 201911110083.9 | 申请日: | 2019-11-14 |
公开(公告)号: | CN110907135A | 公开(公告)日: | 2020-03-24 |
发明(设计)人: | 闫立磊 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 |
主分类号: | G01M11/00 | 分类号: | G01M11/00 |
代理公司: | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人: | 唐秀萍 |
地址: | 518132 广东省深*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 设备 控制 方法 装置 | ||
本发明提供一种制程设备的控制方法及装置,该方法包括:对每种制程设备在预设时长内制备的每个显示面板进行检测,当检测到所述显示面板存在缺陷时,确定所述缺陷所属的类别以及获取每种缺陷的数量,得到多个检测数据;根据所述多个检测数据获取每种制程设备制备的显示面板存在的各种缺陷的总数;根据各种缺陷的总数判断所述制程设备是否出现异常;若所述制程设备出现异常,则对所述制程设备进行异常处理。本发明的制程设备的控制方法及装置,能够提高产品良率。
【技术领域】
本发明涉及显示技术领域,特别是涉及一种制程设备的控制方法及装置。
【背景技术】
目前当检测设备检测出显示面板的缺陷(Defect)时,由人工对缺陷进行分析,以判断制程设备是否出现异常,如果出现异常,通过人工将异常的制程设备关闭。
然而,当缺陷过多时,人工无法及时对多个缺陷进行处理,因此容易将不合格的面板流入后续制程,浪费加工材料,此外由于无法将异常的制程设备关闭,导致报废的面板数量增加,因而导致产品良率较低。
因此,有必要提供一种制程设备的控制方法及装置,以解决现有技术所存在的问题。
【发明内容】
本发明的目的在于提供一种制程设备的控制方法及装置,能够提高产品良率。
为解决上述技术问题,本发明提供一种制程设备的控制方法,包括:
对每种制程设备在预设时长内制备的每个显示面板进行检测,当检测到所述显示面板存在缺陷时,确定所述缺陷所属的类别以及获取每种缺陷的数量,得到多个检测数据;每个显示面板对应一检测数据;
根据所述多个检测数据获取每种制程设备制备的显示面板存在的各种缺陷的总数;
根据各种缺陷的总数判断所述制程设备是否出现异常;
若所述制程设备出现异常,则对所述制程设备进行异常处理。
本发明还提供一种制程设备的控制装置,其包括:
检测模块,用于对每种制程设备在预设时长内制备的每个显示面板进行检测,当检测到所述显示面板存在缺陷时,确定所述缺陷所属的类别以及获取每种缺陷的数量,得到多个检测数据;每个显示面板对应一检测数据;
获取模块,用于根据所述多个检测数据获取每种制程设备制备的显示面板存在的各种缺陷的总数;
判断模块,用于根据各种缺陷的总数判断所述制程设备是否出现异常;
控制模块,用于当所述制程设备出现异常时,对所述制程设备进行异常处理。
本发明的制程设备的控制装置,包括当检测到所述显示面板存在缺陷时,确定所述缺陷所属的类别以及获取每种缺陷的数量,得到多个检测数据;根据所述多个检测数据获取每种制程设备制备的显示面板存在的各种缺陷的总数;根据每种缺陷的总数判断所述制程设备是否出现异常;若所述制程设备出现异常,则对所述制程设备进行异常处理;由于可以自动检测制程设备是否异常,因此可以及时地检测出异常的机台,避免材料的浪费,当机台异常时,将其关闭或者拦截显示面板,从而降低了面板的报废率,提高了产品良率。
【附图说明】
图1为本发明实施例一制程设备的控制方法的流程图;
图2为本发明实施例二制程设备的控制方法的流程图;
图3为本发明制程设备的控制装置的结构示意图;
图4为本发明制程设备的控制装置的优选结构示意图;
图5为本发明制程设备的控制系统的结构示意图。
【具体实施方式】
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