[发明专利]一种制程设备的控制方法及装置在审
申请号: | 201911110083.9 | 申请日: | 2019-11-14 |
公开(公告)号: | CN110907135A | 公开(公告)日: | 2020-03-24 |
发明(设计)人: | 闫立磊 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 |
主分类号: | G01M11/00 | 分类号: | G01M11/00 |
代理公司: | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人: | 唐秀萍 |
地址: | 518132 广东省深*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 设备 控制 方法 装置 | ||
1.一种制程设备的控制方法,其特征在于,
对每种制程设备在预设时长内制备的每个显示面板进行检测,当检测到所述显示面板存在缺陷时,确定所述缺陷所属的类别以及获取每种缺陷的数量,得到多个检测数据;每个显示面板对应一检测数据;
根据所述多个检测数据获取每种制程设备制备的显示面板存在的各种缺陷的总数;
根据各种缺陷的总数判断所述制程设备是否出现异常;
若所述制程设备出现异常,则对所述制程设备进行异常处理。
2.根据权利要求1所述的制程设备的控制方法,其特征在于,所述根据所述多个检测数据获取每种制程设备制备的显示面板存在的各种缺陷的总数的步骤包括:
根据所述多个检测数据获取每种制程设备制备的显示面板存在的设定缺陷的总数;
获取预设时长内每种制程设备制备的显示面板的总数,得到面板总量;
所根据各种缺陷的总数判断所述制程设备是否出现异常的步骤包括:
根据所述设定缺陷的总数和所述面板总量,判断所述制程设备是否出现异常。
3.根据权利要求2所述的制程设备的控制方法,其特征在于,所述根据设定缺陷的总数和面板总量,判断所述制程设备是否出现异常;
获取所述设定缺陷的总数和所述面板总量的比值;
当所述比值大于预设阈值时,则确定所述制程设备出现异常。
4.根据权利要求1所述的制程设备的控制方法,其特征在于,其中每个所述检测数据与显示面板的标识号关联;所述显示面板的标识号与所述制程设备的标识号关联;
所述根据所述多个检测数据获取每种制程设备制备的各显示面板的每种缺陷的总数的步骤包括:
获取每种制程设备对应的显示面板的标识号,得到多个目标标识号;
获取每个所述目标标识号对应的检测数据;
计算所述检测数据中每种缺陷的数量的总和。
5.根据权利要求1所述的制程设备的控制方法,其特征在于,当检测到所述显示面板存在缺陷时,所述方法还包括:
获取所述缺陷的位置信息。
6.根据权利要求1所述的制程设备的控制方法,其特征在于,所述对所述制程设备进行异常处理的步骤包括:
关闭所述制程设备或者控制所述制程设备拦截当前制备中的显示面板。
7.一种制程设备的控制装置,其特征在于,
检测模块,用于对每种制程设备在预设时长内制备的每个显示面板进行检测,当检测到所述显示面板存在缺陷时,确定所述缺陷所属的类别以及获取每种缺陷的数量,得到多个检测数据;每个显示面板对应一检测数据;
获取模块,用于根据所述多个检测数据获取每种制程设备制备的显示面板存在的各种缺陷的总数;
判断模块,用于根据各种缺陷的总数判断所述制程设备是否出现异常;
控制模块,用于当所述制程设备出现异常时,对所述制程设备进行异常处理。
8.根据权利要求7所述的制程设备的控制装置,其特征在于,所获取模块包括:
第一获取单元,用于根据所述多个检测数据获取每种制程设备制备的显示面板存在的设定缺陷的总数;
第二获取单元,用于获取预设时长内每种制程设备制备的显示面板的总数,得到面板总量;
所判断模块具体用于:根据所述设定缺陷的总数和所述面板总量,判断所述制程设备是否出现异常。
9.根据权利要求8所述的制程设备的控制装置,其特征在于,所述判断单元,具体用于;
获取所述设定缺陷的总数和所述面板总量的比值;当所述比值大于预设阈值时,则确定所述制程设备出现异常。
10.根据权利要求7所述的制程设备的控制装置,其特征在于,其中每个所述检测数据与显示面板的标识号关联;所述显示面板的标识号与所述制程设备的标识号关联;
所述获取模块具体用于:获取每种制程设备对应的显示面板的标识号,得到多个目标标识号;获取每个所述目标标识号对应的检测数据,并计算所述检测数据中每种缺陷的数量的总和。
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