[发明专利]一种用于真空设备的无油传送装置在审
| 申请号： | 201911100445.6 | 申请日： | 2019-11-12 |
| 公开（公告）号： | CN112849959A | 公开（公告）日： | 2021-05-28 |
| 发明（设计）人： | 郭晓龙;张庆钊 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | B65G23/24 | 分类号： | B65G23/24;B65G23/04;B65G17/12;B65G43/00;B65G17/34 |
| 代理公司： | 北京华沛德权律师事务所 11302 | 代理人： | 房德权 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于真空设备的无油传送装置，所述装置包括：磁力旋转座，所述磁力旋转座设置在真空腔体中，且所述磁力旋转座内具有一磁力杆；电机，所述电机与所述磁力旋转座的一端的磁力杆连接，且所述电机带动所述磁力杆转动；第一皮带轮，所述第一皮带轮与所述磁力旋转座的另一端的磁力杆连接；第二皮带轮，所述第二皮带轮与所述第一皮带轮对称设置在所述真空腔体中；皮带，所述皮带与所述第一皮带轮、所述第二皮带轮相啮合；样品传送托，所述样品传送托与所述皮带连接，且所述样品传送托上放置样品，解决了传送结构含有油脂，油脂在真空状态下易分解，污染真空腔室的技术问题，实现真空下无油传送，且运动距离可精确控制的技术效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 真空设备 传送 装置 | ||
【主权项】：
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