[发明专利]一种用于真空设备的无油传送装置

说明书

本发明公开了一种用于真空设备的无油传送装置，所述装置包括：磁力旋转座，所述磁力旋转座设置在真空腔体中，且所述磁力旋转座内具有一磁力杆；电机，所述电机与所述磁力旋转座的一端的磁力杆连接，且所述电机带动所述磁力杆转动；第一皮带轮，所述第一皮带轮与所述磁力旋转座的另一端的磁力杆连接；第二皮带轮，所述第二皮带轮与所述第一皮带轮对称设置在所述真空腔体中；皮带，所述皮带与所述第一皮带轮、所述第二皮带轮相啮合；样品传送托，所述样品传送托与所述皮带连接，且所述样品传送托上放置样品，解决了传送结构含有油脂，油脂在真空状态下易分解，污染真空腔室的技术问题，实现真空下无油传送，且运动距离可精确控制的技术效果。

技术领域

本发明涉及微电子技术领域，特别涉及一种用于真空设备的无油传送装置。

背景技术

真空设备是产生、改善和(或)维持真空的装置，包括真空应用设备和真空获得设备。目前真空设备快速发展，在微电子领域广泛使用，对真空结构设计提出更高要求。目前，大部分真空设备都需要将样品进行传送。

由于现有技术中真空的特殊要求，传送结构不能含有润滑油等油脂，油脂在真空状态下，容易分解，产生腔室内污染的技术问题。

发明内容

本发明实施例提供了一种用于真空设备的无油传送装置，用以解决现有技术中真空的特殊要求，传送结构不能含有润滑油等油脂，油脂在真空状态下，容易分解，产生腔室内污染的技术问题，达到了真空环境中无油传送，实现样品运动距离的精确控制，结构简单，适用性高的技术效果。

为了解决上述问题，本发明实施例提供了一种用于真空设备的无油传送装置，所述装置包括：磁力旋转座，所述磁力旋转座设置在真空腔体中，且所述磁力旋转座内具有一磁力杆；电机，所述电机与所述磁力旋转座的一端的磁力杆连接，且所述电机带动所述磁力杆转动；第一皮带轮，所述第一皮带轮与所述磁力旋转座的另一端的磁力杆连接；第二皮带轮，所述第二皮带轮与所述第一皮带轮对称设置在所述真空腔体中；皮带，所述皮带与所述第一皮带轮、所述第二皮带轮相啮合；样品传送托，所述样品传送托与所述皮带连接，且所述样品传送托上放置样品。

优选地，所述装置还包括：联轴器，所述联轴器设置在所述磁力旋转座与所述电机之间。

优选地，所述第一皮带轮与所述第二皮带轮的高度一致。

优选地，所述第一皮带轮与所述第二皮带轮分别具有一陶瓷轴承。

优选地，所述磁力杆转动带动所述陶瓷轴承转动使所述皮带轮旋转。

优选地，所述皮带轮旋转带动所述皮带前后运动使所述样品传送托前后运动。

本发明实施例中的上述一个或多个技术方案，至少具有如下一种或多种技术效果：

本发明实施例提供了一种用于真空设备的无油传送装置，所述装置包括：磁力旋转座，所述磁力旋转座设置在真空腔体中，且所述磁力旋转座内具有一磁力杆；电机，所述电机与所述磁力旋转座的一端的磁力杆连接，且所述电机带动所述磁力杆转动；第一皮带轮，所述第一皮带轮与所述磁力旋转座的另一端的磁力杆连接；第二皮带轮，所述第二皮带轮与所述第一皮带轮对称设置在所述真空腔体中；皮带，所述皮带与所述第一皮带轮、所述第二皮带轮相啮合；样品传送托，所述样品传送托与所述皮带连接，且所述样品传送托上放置样品。通过电机正反转带动磁力旋转座内的磁力杆转动，磁力杆使皮带轮旋转带动皮带前后运动，从而控制样品传送托前后运动，解决现有技术中真空的特殊要求，传送结构不能含有润滑油等油脂，油脂在真空状态下，容易分解，产生腔室内污染的技术问题，实现了真空环境中无油传送，实现样品运动距离的精确控制，结构简单，适用性高的技术效果。

上述说明仅是本发明技术方案的概述，为了能够更清楚了解本发明的技术手段，而可依照说明书的内容予以实施，并且为了让本发明的上述和其它目的、特征和优点能够更明显易懂，以下特举本发明的具体实施方式。

附图说明