[发明专利]一种用于真空设备的无油传送装置在审
申请号: | 201911100445.6 | 申请日: | 2019-11-12 |
公开(公告)号: | CN112849959A | 公开(公告)日: | 2021-05-28 |
发明(设计)人: | 郭晓龙;张庆钊 | 申请(专利权)人: | 中国科学院微电子研究所 |
主分类号: | B65G23/24 | 分类号: | B65G23/24;B65G23/04;B65G17/12;B65G43/00;B65G17/34 |
代理公司: | 北京华沛德权律师事务所 11302 | 代理人: | 房德权 |
地址: | 100029 *** | 国省代码: | 北京;11 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 真空设备 传送 装置 | ||
1.一种用于真空设备的无油传送装置,其特征在于,所述装置包括:
磁力旋转座,所述磁力旋转座设置在真空腔体中,且所述磁力旋转座内具有一磁力杆;
电机,所述电机与所述磁力旋转座的一端的磁力杆连接,且所述电机带动所述磁力杆转动;
第一皮带轮,所述第一皮带轮与所述磁力旋转座的另一端的磁力杆连接;
第二皮带轮,所述第二皮带轮与所述第一皮带轮对称设置在所述真空腔体中;
皮带,所述皮带与所述第一皮带轮、所述第二皮带轮相啮合;
样品传送托,所述样品传送托与所述皮带连接,且所述样品传送托上放置样品。
2.如权利要求1所述的装置,其特征在于,所述装置还包括:
联轴器,所述联轴器设置在所述磁力旋转座与所述电机之间。
3.如权利要求1所述的装置,其特征在于,所述第一皮带轮与所述第二皮带轮的高度一致。
4.如权利要求1所述的装置,其特征在于,所述第一皮带轮与所述第二皮带轮分别具有一陶瓷轴承。
5.如权利要求4所述的装置,其特征在于,所述磁力杆转动带动所述陶瓷轴承转动使所述皮带轮旋转。
6.如权利要求5所述的装置,其特征在于,所述皮带轮旋转带动所述皮带前后运动使所述样品传送托前后运动。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院微电子研究所,未经中国科学院微电子研究所许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201911100445.6/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。