[发明专利]制造具有缠绕电极的压电微致动器的方法有效
申请号: | 201911094077.9 | 申请日: | 2019-11-11 |
公开(公告)号: | CN111179976B | 公开(公告)日: | 2023-08-29 |
发明(设计)人: | P·哈恩;余坤祺;张泷;D·格莱斯 | 申请(专利权)人: | 马格内康普公司 |
主分类号: | G11B5/48 | 分类号: | G11B5/48;H02N2/00;H02N2/02 |
代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人: | 蔡洪贵 |
地址: | 美国加*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 一种制造具有缠绕电极的压电微致动器的方法包括形成压电元件,该压电元件具有处于顶面上的大的中心电极并具有包括底面、装置的两个相反端及顶面的两个相反端部的缠绕电极。然后将该装置切开中间,从而将该装置分成两个单独的压电微致动器,每个致动器均具有缠绕电极。 | ||
搜索关键词: | 制造 具有 缠绕 电极 压电 微致动器 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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