[发明专利]制造具有缠绕电极的压电微致动器的方法

说明书

一种制造具有缠绕电极的压电微致动器的方法包括形成压电元件，该压电元件具有处于顶面上的大的中心电极并具有包括底面、装置的两个相反端及顶面的两个相反端部的缠绕电极。然后将该装置切开中间，从而将该装置分成两个单独的压电微致动器，每个致动器均具有缠绕电极。

相关申请的交叉引用

本申请要求于2019年10月30日提交的美国专利申请No.16/669,251的优先权，并进一步要求于2018年11月9日提交的美国临时申请No.62/758,471的权益，这两篇申请的内容被在此通过参引全部结合到本文中，如同在本文中予以完整阐述一样。

技术领域

本发明涉及用于硬盘驱动器的悬架的领域。更具体地，本发明涉及一种制造具有缠绕电极的压电微致动器的方法，这些压电微致动器例如用于在双级致动(DSA)的磁盘驱动器悬架中使用。

背景技术

硬磁盘驱动器和诸如光盘驱动器之类的其它类型的旋转媒体驱动器是众所周知的。图1是本发明所适用的示例性现有技术硬盘驱动器和悬架的斜视图。现有技术磁盘驱动单元100包括旋转磁盘101，该旋转磁盘101上包含有由磁性的一和零构成的图案，该图案构成了存储在磁盘驱动器上的数据。磁盘由驱动马达(未示出)驱动。磁盘驱动单元100还包括磁盘驱动器悬架105，其在负载梁107的远端附近安装有磁头滑动件(未示出)。悬架105联接至致动器臂103，该致动器臂103又联接至音圈马达112，该音圈马达使悬架105弧形地移动，以便将磁头滑动件定位在数据磁盘101上的正确数据道的上方。磁头滑动件被承载在万向架上，该万向架使该滑动件能够俯仰和滚动，使得它沿着磁盘上的适当数据道而行，从而允许存在诸如磁盘的振动、诸如碰撞之类的惯性事件和磁盘表面中的不规则之类的这种变化。

单级致动的磁盘驱动器悬架和双级致动(DSA)悬架都是已知的。在单级致动悬架中，仅音圈马达112移动悬架105。

在DSA悬架中，例如在授予Mei等人的美国专利No.7,459,835中的悬架及许多其它悬架中，除了移动整个悬架的音圈马达112之外，该悬架上定位有至少一个微致动器，以实现磁头滑动件的精细移动，从而将它在旋转盘上的数据道的上方保持适当对齐。与单独的音圈马达相比，微致动器提供了对于伺服控制回路的精细得多的控制和伺服控制回路的高得多的带宽，这导致悬架的相对粗的移动并由此导致磁头滑动件的相对粗的移动。由压电材料制成的压电元件或部件(有时被简称为PZT)通常被用作微致动器马达，但是其它类型的微致动器马达也是可能的。在下面的讨论中，为简单起见，微致动器将被简称为“PZT”，但是将会理解的是，微致动器不必是PZT类型的。

图2是图1中的现有技术悬架105的俯视平面图。两个PZT微致动器14被固定到位于形成在基板12内的微致动器安装搁板18上的悬架105上，使得PZT跨越基板12中的相应间隙。微致动器14被通过不导电环氧树脂16在微执行器的两端固定于安装搁板18。可通过包括在授予Kulangara等人的共同拥有的美国专利No.7,751,153中公开的那些技术在内的多种技术从PZT到悬架的挠性布线轨迹和/或到接地基板进行正电连接和负电连接。

在组装DSA悬架时，该过程通常包括以下步骤：将诸如环氧树脂之类的液体粘合剂分布到该悬架和/或PZT上；将PZT定位在悬架上的适当位置；根据所使用的粘合剂，通常通过热固化、紫外线(“UV”)固化或其它固化方法来固化粘合剂。DSA悬架通常包括导电环氧树脂和/或不导电环氧树脂，以将PZT粘结到悬架。导电粘合剂(例如含银环氧树脂)是众所周知的并且是常用的。