[发明专利]制造具有缠绕电极的压电微致动器的方法

权利要求书

1.一种制造微致动器的方法，所述方法包括：

至少形成包括一个或多个电极的由压电材料制成的第一晶圆；

通过由压电材料制成的所述第一晶圆形成一个或多个压电材料条带；

将一个或多个粘合剂印制到所述压电材料条带的至少一个表面上；以及

通过所述一个或多个压电材料条带形成包括任一粘合剂中的至少一个的一个或多个部分的一个或多个单一化的裸片，

其中，将一个或多个粘合剂印制到所述压电材料条带的至少一个表面上包括：

在所述条带上布置模板；

向所述模板施加一个或多个液体粘合剂；以及

将所述一个或多个液体粘合剂推动到所述条带的通过所述模板保持暴露的一个或多个部分。

2.根据权利要求1所述的方法，其中，通过所述第一晶圆形成所述一个或多个压电材料条带包括切割所述第一晶圆。

3.根据权利要求1所述的方法，其中，向所述模板施加所述一个或多个液体粘合剂包括向所述模板施加不导电粘合剂。

4.根据权利要求1所述的方法，其中，向所述模板施加所述一个或多个液体粘合剂包括向所述模板施加导电粘合剂。

5.根据权利要求1所述的方法，其中，所述一个或多个液体粘合剂包括导电粘合剂和不导电粘合剂中的任一种。

6.根据权利要求1所述的方法，其中，通过所述一个或多个压电材料条带形成包括所述任一粘合剂中的至少一个的一个或多个部分的所述一个或多个单一化的裸片包括切割所述一个或多个压电材料条带。

7.根据权利要求6所述的方法，其中，切割所述一个或多个压电材料条带包括切割所述一个或多个压电材料条带以包括所述任一粘合剂的至少两个部分。

8.根据权利要求1所述的方法，其中，所述模板被配置成暴露所述条带的一个或多个部分，使得将所述一个或多个液体粘合剂推动到所述条带的通过所述模板保持暴露的所述一个或多个部分上将所述一个或多个液体粘合剂中的所述至少一个布置到所述条带中的每一个的至少第一端上。

9.根据权利要求3所述的方法，其中，所述模板被配置成暴露出所述条带的一个或多个部分，使得将所述一个或多个液体粘合剂推动到所述条带的通过所述模板保持暴露的所述一个或多个部分上将所述一个或多个液体粘合剂中的所述至少一个布置在所述条带中的每一个的顶表面上。

10.根据权利要求8所述的方法，其中，所述模板被配置成暴露出所述条带的一个或多个部分，使得将所述一个或多个液体粘合剂推动到所述条带的通过所述模板保持暴露的所述一个或多个部分上将所述一个或多个液体粘合剂中的至少一个布置到所述条带的顶表面上，使得所述一个或多个液体粘合剂的一部分与被布置到所述条带中的每一个的所述第一端上的至少一个或多个液体粘合剂相接触。

11.根据权利要求10所述的方法，其中，所述模板被配置成暴露出所述条带的一个或多个部分，使得将所述一个或多个液体粘合剂推动到所述条带的通过所述模板保持暴露的所述一个或多个部分上将所述一个或多个液体粘合剂中的至少一个布置到所述条带中的每一个的至少第二端上。

12.根据权利要求11所述的方法，其中，所述模板被配置成暴露出所述条带的一个或多个部分，使得将所述一个或多个液体粘合剂推动到所述条带的通过所述模板保持暴露的所述一个或多个部分上将所述一个或多个液体粘合剂中的至少一个推动到所述条带的顶表面上，使得所述一个或多个液体粘合剂的第一部分与被布置到所述条带中的每一个的所述第二端上的至少一个或多个液体粘合剂相接触。