[发明专利]一种多孔性陶瓷载台清洁装置及显示面板制造设备在审
| 申请号： | 201911085078.7 | 申请日： | 2019-11-08 |
| 公开（公告）号： | CN110899244A | 公开（公告）日： | 2020-03-24 |
| 发明（设计）人： | 杨晓伟;马生林;项洁 | 申请（专利权）人： | 上海精测半导体技术有限公司 |
| 主分类号： | B08B5/04 | 分类号： | B08B5/04;B08B1/04 |
| 代理公司： | 苏州友佳知识产权代理事务所(普通合伙) 32351 | 代理人： | 储振 |
| 地址： | 201700 上海市青浦区*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种多孔性陶瓷载台清洁装置及显示面板制造设备，该多孔性陶瓷载台清洁装置包括：驱动机构；至少在底部形成敞口的罩壳，罩壳的底部敞口贴近多孔性陶瓷载台表面运动；罩壳内横向容置至少一个滚筒及抽吸装置，滚筒被驱动机构驱动，抽吸装置与滚筒平行布置并悬浮于多孔性陶瓷载台表面；滚筒的表面配置毛刷。通过本发明实现了对多孔性陶瓷载台上所残留的残渣的有效清除，并有效防止了残渣堵塞多孔性陶瓷载台的气孔，避免了现有技术中需要频繁更换粘辊所导致的生产成本较高的缺陷，并显著降低了对多孔性陶瓷载台进行清洁操作的清洁装置的运行维护成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多孔 陶瓷 清洁 装置 显示 面板 制造 设备 | ||
【主权项】：
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