[发明专利]一种多孔性陶瓷载台清洁装置及显示面板制造设备在审

专利信息
申请号: 201911085078.7 申请日: 2019-11-08
公开(公告)号: CN110899244A 公开(公告)日: 2020-03-24
发明(设计)人: 杨晓伟;马生林;项洁 申请(专利权)人: 上海精测半导体技术有限公司
主分类号: B08B5/04 分类号: B08B5/04;B08B1/04
代理公司: 苏州友佳知识产权代理事务所(普通合伙) 32351 代理人: 储振
地址: 201700 上海市青浦区*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 多孔 陶瓷 清洁 装置 显示 面板 制造 设备
【权利要求书】:

1.一种多孔性陶瓷载台清洁装置,其特征在于,包括:

驱动机构;

至少在底部形成敞口的罩壳,所述罩壳的底部敞口贴近多孔性陶瓷载台表面运动;

罩壳内横向容置至少一个滚筒及抽吸装置,所述滚筒被所述驱动机构驱动,所述抽吸装置与所述滚筒平行布置并悬浮于多孔性陶瓷载台表面;

所述滚筒的表面配置毛刷。

2.根据权利要求1所述的多孔性陶瓷载台清洁装置,其特征在于,所述抽吸装置横向延伸出罩壳,并与负压发生装置连接,同时所述抽吸装置面向多孔性陶瓷载台的一侧形成狭缝。

3.根据权利要求1或者2所述的多孔性陶瓷载台清洁装置,其特征在于,所述罩壳内横向容置偶数个对向滚动的滚筒,所述抽吸装置配置于相邻两个滚筒之间。

4.根据权利要求3所述的多孔性陶瓷载台清洁装置,其特征在于,所述罩壳内横向容置被驱动机构所驱动并对向滚动的两个滚筒,所述抽吸装置配置于相邻两个滚筒之间。

5.根据权利要求1或者2所述的多孔性陶瓷载台清洁装置,其特征在于,所述多孔性陶瓷载台清洁装置还包括:

与罩壳的顶部连接的升降机构,用于移动所述罩壳。

6.根据权利要求1或者2所述的多孔性陶瓷载台清洁装置,其特征在于,所述罩壳的横向宽度至少大于多孔性陶瓷载台其中一条边的宽度。

7.根据权利要求2所述的多孔性陶瓷载台清洁装置,其特征在于,所述抽吸装置面向多孔性陶瓷载台的一侧为平面,且平面开设所述狭缝。

8.根据权利要求2所述的多孔性陶瓷载台清洁装置,其特征在于,所述抽吸装置面向多孔性陶瓷载台的一侧由两个斜面组成,且由两个斜面共同围合形成所述狭缝。

9.根据权利要求7或者8所述的多孔性陶瓷载台清洁装置,其特征在于,所述抽吸装置的底部配置与所述狭缝平行并与多孔性陶瓷载台表面贴合的毛刷排。

10.一种显示面板制造设备,其特征在于,包括:

多孔性陶瓷载台,以及如权利要求1至9中任一项所述的多孔性陶瓷载台清洁装置,以通过所述多孔性陶瓷载台清洁装置对多孔性陶瓷载台进行清洁处理。

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