[发明专利]一种多孔性陶瓷载台清洁装置及显示面板制造设备

说明书

本发明提供了一种多孔性陶瓷载台清洁装置及显示面板制造设备，该多孔性陶瓷载台清洁装置包括：驱动机构；至少在底部形成敞口的罩壳，罩壳的底部敞口贴近多孔性陶瓷载台表面运动；罩壳内横向容置至少一个滚筒及抽吸装置，滚筒被驱动机构驱动，抽吸装置与滚筒平行布置并悬浮于多孔性陶瓷载台表面；滚筒的表面配置毛刷。通过本发明实现了对多孔性陶瓷载台上所残留的残渣的有效清除，并有效防止了残渣堵塞多孔性陶瓷载台的气孔，避免了现有技术中需要频繁更换粘辊所导致的生产成本较高的缺陷，并显著降低了对多孔性陶瓷载台进行清洁操作的清洁装置的运行维护成本。

技术领域

本发明涉及显示面板制造设备技术领域，尤其涉及一种多孔性陶瓷载台清洁装置及显示面板制造设备。

背景技术

在显示面板制程中通常会使用载台来承载并固定显示面板，以供制程所需的各种作业。早期的载台采用不锈钢等金属材料制成，并在顶面开设密集排布的负压气孔，并将负压气孔与负压装置连接，以利用负压装置所产生的吸附力对显示面板进行吸附固定。

由于金属载台具有较佳的热导性及导电性，从而造成显示面板的局部区域产生过大的吸力而造成损坏，并且当承载的显示面板进行摩擦(Rubbing)等制程作业时，会产生较大的温度变化，无法有效释放静电积累的电荷，从而影响到显示面板的配向；同时，采用金属制成的载台也会存在对显示面板产生磨损的问题。为改善上述问题，业界开始使用一整块并具有多个微孔的陶瓷板，即多孔性陶瓷载台，来解决上述问题。多孔性陶瓷载台密布直径在20μm左右的气孔，气孔率可达40％以上。

显示面板通常需要进行切割操作，并在多孔性陶瓷载台上执行。然而，多孔性陶瓷载台在执行面板切割操作后会产生一定的直径细微的残渣，残渣的直径通常在5～100μm之间。残渣堵塞气孔则会导致多孔性陶瓷载台对显示面板的吸附及固定效果下降。因此必须对多孔性陶瓷载台进行定期清洁处理。采用传统的无尘布蘸取酒精或IPA(异丙醇)等擦拭多孔性陶瓷载台的清洁手段虽然能清除部分直径较大的残渣，但是依然会将大量直径小于20μm带入至气孔中，从而堵塞气孔。

参图1所揭示的现有技术中对多孔性陶瓷载台进行清洁的一种清洁装置。该清洁装置由纵向移动的平台83，安装于平台83上的安装支架82及沿安装支架82垂直移动的框架81组成，框架81的末端夹持可滚动的粘辊80。该清洁装置通过可往复运动的粘辊80与多孔性陶瓷载台60的表面相接触，以通过粘辊80粘附去除多孔性陶瓷载台上所残留的残渣。

然而，该清洁装置中的粘辊80在向多孔性陶瓷载台60施加向下的压力时依然会导致部分细小的残渣基于粘辊80的碾压作用导致细小的残渣堵塞气孔的发生，从而导致清洁效果不佳的缺陷；同时，该清洁装置在使用一定时间后，粘辊80的表面必定会粘附残渣，因此需要频繁的更换粘辊80，而这不仅增加了清洁装置的使用成本，而且还导致了多孔性陶瓷载台需要停机清洁，由此导致显示面板的生产效率受到一定影响。

有鉴于此，有必要对现有技术中的对多孔性陶瓷载台进行清洁操作的装置予以改进，以解决上述问题。

发明内容

本发明的目的在于揭示一种多孔性陶瓷载台清洁装置及基于该多孔性陶瓷载台清洁装置的显示面板制造设备，用以实现对多孔性陶瓷载台上所残留的残渣进行清除，并有效防止残渣堵塞气孔，避免频繁更换粘辊所导致的生产成本较高的缺陷。

为实现上述第一个目的，本发明首先提供了一种多孔性陶瓷载台清洁装置，包括：

驱动机构；

至少在底部形成敞口的罩壳，所述罩壳的底部敞口贴近多孔性陶瓷载台表面运动；

罩壳内横向容置至少一个滚筒及抽吸装置，所述滚筒被所述驱动机构驱动，所述抽吸装置与所述滚筒平行布置并悬浮于多孔性陶瓷载台表面；

所述滚筒的表面配置毛刷。