[发明专利]一种ARC镀膜生产线及镀膜工艺在审
| 申请号： | 201911080840.2 | 申请日： | 2019-11-07 |
| 公开（公告）号： | CN110699654A | 公开（公告）日： | 2020-01-17 |
| 发明（设计）人： | 祝海生;陈立;唐洪波;唐莲;薛闯;金诚明;凌云;孙桂红;梁红;黄国兴;黄乐 | 申请（专利权）人： | 湘潭宏大真空技术股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/56;C23C14/10;C23C14/06 |
| 代理公司： | 31253 上海精晟知识产权代理有限公司 | 代理人： | 张超宇 |
| 地址： | 411100 湖*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种ARC镀膜生产线，包括呈直线依次连接的旋转台、进出口室、缓冲室、前过渡室、工艺室组、后过渡室和旋转室，工艺室组包括至少一个工艺室，进出口室、缓冲室、前过渡室、工艺室和后过渡室均沿着所述直线方向对称分隔成两个腔室，形成连通的U形通道，基于上述生产线的ARC镀膜生产工艺，包括两个依次进行、运行方向相反的流程，无需对基片镀过渡层。本发明的同一工艺室腔室内布置多个旋转阴极进行连续镀膜，无需过渡层；工艺室数量可根据具体需求增加或减少而不影响其它功能室的工作；折线形生产线使基片架上端磁连接、下端内凹的传动轮接力传送，对基片的传动平稳可靠。 | ||
| 搜索关键词： | 工艺室 过渡室 过渡层 缓冲室 运行方向相反 镀膜生产线 传动平稳 镀膜生产 方向对称 连续镀膜 同一工艺 需求增加 旋转阴极 依次连接 进出口 上端 传动轮 磁连接 功能室 基片架 旋转室 旋转台 折线形 分隔 内凹 腔室 室腔 下端 连通 传送 接力 室内 | ||
【主权项】：
1.一种ARC镀膜生产线，包括呈直线依次连接的旋转台、进出口室、缓冲室、前过渡室、工艺室组、后过渡室和旋转室，工艺室组包括至少一个工艺室，进出口室、缓冲室、前过渡室、工艺室和后过渡室均沿着所述直线方向对称分隔成两个腔室，形成连通的U形通道。/n
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