[发明专利]一种ARC镀膜生产线及镀膜工艺

权利要求书

1.一种ARC镀膜生产线，包括呈直线依次连接的旋转台、进出口室、缓冲室、前过渡室、工艺室组、后过渡室和旋转室，工艺室组包括至少一个工艺室，进出口室、缓冲室、前过渡室、工艺室和后过渡室均沿着所述直线方向对称分隔成两个腔室，形成连通的U形通道。

2.根据权利要求1所述的ARC镀膜生产线，其特征在于：工艺室包括彼此独立且对称的第一工艺室和第二工艺室。

3.根据权利要求1所述的ARC镀膜生产线，其特征在于：所述生产线还包括将待镀膜的基片在所述U形通道进行传送的基片传送机构，基片传送机构包括基片架、多个磁导向和多个内传动轮，多个磁导向和多个内传动轮均匀间隔布置在进出口室、缓冲室、前过渡室、工艺室、后过渡室和旋转室内，沿着所述U形通道形成U形传送路径，磁导向位于内传动轮上方，装载基片的基片架位于多个磁导向和多个内传动轮之间、沿着所述U形传送路径运行。

4.根据权利要求3所述的ARC镀膜生产线，其特征在于：基片架垂直于水平面，基片架上端和磁导向磁性连接，下端滑设在多个内传动轮上。

5.根据权利要求4所述的ARC镀膜生产线，其特征在于：内传动轮外表面沿着周向内凹，基片架下端接触并滑设在所述内凹表面上。

6.根据权利要求3所述的ARC镀膜生产线，其特征在于：基片传送机构还包括磁流体、多个伺服电机、多个同步带和多个同步轮，每个同步轮通过磁流体连接一内传动轮，同一腔室内多个同步轮通过同步带连接，伺服电机连接并驱动一同步轮。

7.根据权利要求3所述的ARC镀膜生产线，其特征在于：所述生产线还包括冷却作用的冷却机构，冷却机构包括回水主冷却管道、进水主冷却管道和多个水冷板，多个水冷板分别安装在前过渡室、工艺室和后过渡室，多个水冷板并联连接，进水主冷却管道、水冷板和回水主冷却管道依次连接，进水主冷却管道和回水主冷却管道连接外部冷却水系统。

8.根据权利要求1所述的ARC镀膜生产线，其特征在于：所述生产线还包括抽真空机构，抽真空机构包括多个分子泵，缓冲室、前过渡室、工艺室和后过渡室各自的两个腔室上各设有两个分子泵。

9.ARC镀膜生产工艺，所述生产工艺基于权利要求1～8任一所述的ARC镀膜生产线，其特征在于：包括两个依次进行、运行方向相反的流程：

第一流程：基片依次经过旋转台、进出口室、缓冲室、前过渡室、工艺室、后过渡室和旋转室，在工艺室完成两层镀膜；

第二流程：基片通过第一流程到达旋转室，在旋转室进行旋转掉头后，再依次经过后过渡室、工艺室、前过渡室、缓冲室、进出口室和旋转台，在工艺室对同一面再完成两层镀膜，所述基片通过旋转台退出所述生产线；

第一流程和第二流程均无需对基片镀过渡层。

10.根据权利要求9所述的ARC镀膜生产工艺，其特征在于：所述第一流程中，在工艺室通过两个磁控溅射设备依次镀第一层膜和第二层膜，第一层膜和第二层膜均为SiO₂，膜厚根据膜系设计选择，靶材均为Si靶，工作气体Ar，流量为50～500sccm；反应气体为O₂，流量为50～500sccm。