[发明专利]芯片电极的制备方法及制备装置

摘要

本发明提出了一种芯片电极的制备方法及制备装置，制备方法包括：将芯片放置于真空腔室内进行金属化沉积以形成芯片的电极；对形成电极的芯片进行加热，达到第一预设温度后维持预设时间；在真空腔室内，对芯片进行降温，使芯片降温至第二预设温度，以完成芯片电极的制备。根据本发明的芯片电极的制备方法，通过电极制备完成后直接在真空腔室内进行原位退火的方法，有效减小了芯片在电极制备完成后到电极退火之间可能产生的损伤，有效降低了电极的接触电阻，提高了电极与半导体之间的欧姆接触的效果，提升了芯片的性能。