[发明专利]光透过率调整装置有效
| 申请号： | 201911054439.1 | 申请日： | 2019-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN112748566B | 公开（公告）日： | 2022-06-03 |
| 发明（设计）人： | 王彩红;侯宝路 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | G02B26/02 | 分类号： | G02B26/02 |
| 代理公司： | 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 | 代理人： | 王宏婧 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种光透过率调整装置，包括：光源，用于提供入射光，入射光的入射方向为X方向，垂直于X方向的方向为Y方向，由X方向和Y方向界定出XY平面，垂直于XY平面的方向为Z方向；沿X方向排列的至少两个透光板，至少两个透光板中具有2N个可旋转透光板，N为正整数，2N个可旋转透光板中的任意N个可旋转透光板绕Y方向旋转，另外N个可旋转透光板绕Z方向旋转，并且，通过旋转2N个可旋转透光板，以使得任意N个可旋转透光板和另外N个可旋转透光板对于入射光的透射率一一对应之差异小于等于预定值。本发明提供的光透过率调整装置可以确保出射光与入射光的偏振度一致，而不改变光束的偏振态，从而保证了后续操作的精确执行。 | ||
| 搜索关键词： | 透过 调整 装置 | ||
【主权项】：
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