[发明专利]光透过率调整装置有效
申请号: | 201911054439.1 | 申请日: | 2019-10-31 |
公开(公告)号: | CN112748566B | 公开(公告)日: | 2022-06-03 |
发明(设计)人: | 王彩红;侯宝路 | 申请(专利权)人: | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 |
主分类号: | G02B26/02 | 分类号: | G02B26/02 |
代理公司: | 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 | 代理人: | 王宏婧 |
地址: | 201203 上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 透过 调整 装置 | ||
1.一种光透过率调整装置,其特征在于,包括:
光源,用于提供入射光,以及,将所述入射光的入射方向定义为X方向,垂直于X方向的方向为Y方向,并由所述X方向和所述Y方向界定出XY平面,垂直于所述XY平面的方向定义为Z方向;
沿X方向排列的2N个可旋转透光板,N为正整数,以及所述2N个可旋转透光板中的任意N个可旋转透光板绕Y方向旋转,另外N个可旋转透光板绕Z方向旋转,则当所述2N个可旋转透光板旋转时,入射光照射于所述任意N个可旋转透光板的入射面和入射光照射于所述另外N个可旋转透光板的入射面垂直,并且,通过旋转所述2N个可旋转透光板,以使得所述任意N个可旋转透光板和所述另外N个可旋转透光板对于入射光的透射率一一对应之差异小于等于预定值;
其中,所述任意N个可旋转透光板中的任一可旋转透光板,与所述另外N个可旋转透光板中的某一可旋转透光板相互对应;使得所述任一可旋转透光板与所述某一可旋转透光板对于入射光中偏振方向与其入射面垂直的光束的透射率之差的绝对值与所述任一可旋转透光板对入射光中偏振方向与其入射面垂直的光束的透射率之比小于等于第一预定值;以及使得所述任一可旋转透光板与所述某一可旋转透光板对于入射光中偏振方向与其入射面平行的光束的透射率之差的绝对值与所述任一可旋转透光板对入射光中偏振方向与其入射面平行的光束的透射率之比小于等于第二预定值。
2.如权利要求1所述的光透过率调整装置,其特征在于,所述装置还包括至少两个驱动组件,用于驱动所述任意N个可旋转透光板绕Y方向旋转,以及,用于驱动所述另外N个可旋转透光板绕Z方向旋转。
3.如权利要求1所述的光透过率调整装置,其特征在于,所述任意N个可旋转透光板和所述另外N个可旋转透光板在不同的旋转角度下,对应得到不同强度的出射光。
4.如权利要求1所述的光透过率调整装置,其特征在于,所述N为偶数;
所述任意N个可旋转透光板中任意N/2个可旋转透光板的旋转方向一致,其余N/2个可旋转透光板的旋转方向一致,所述任意N个可旋转透光板中任意N/2个可旋转透光板的旋转方向与其余N/2个可旋转透光板的旋转方向相反,且所述任意N个可旋转透光板中的任意N/2个可旋转透光板和其余N/2个可旋转透光板的旋转角度一一对应相同;
以及,所述另外N个可旋转透光板中任意N/2个可旋转透光板的旋转方向一致,其余N/2个可旋转透光板的旋转方向一致,所述另外N个可旋转透光板中任意N/2个可旋转透光板的旋转方向与其余N/2个可旋转透光板的旋转方向相反,且另外N个可旋转透光板中的任意N/2个可旋转透光板和其余N/2个可旋转透光板的旋转角度一一对应相同。
5.如权利要求1或4所述的光透过率调整装置,其特征在于,所述2N个可旋转透光板的材质相同,以及,所述任意N个可旋转透光板和所述另外N个可旋转透光板的旋转角度一一对应相同,以使得所述任意N个可旋转透光板和所述另外N个可旋转透光板对于入射光的透射率一一对应相同。
6.如权利要求4所述的光透过率调整装置,其特征在于,所述N为2,所述装置具有沿X方向排列的四个可旋转透光板,分别为第一可旋转透光板、第二可旋转透光板、第三可旋转透光板以及第四可旋转透光板,所述第一可旋转透光板和第二可旋转透光板绕Z方向旋转,所述第三可旋转透光板和第四可旋转透光板绕Y方向旋转;
以及,所述第一可旋转透光板和所述第二可旋转透光板的旋转方向相反,旋转角度相同,所述第三可旋转透光板和所述第四可旋转透光板的旋转方向相反,旋转角度相同,以及,所述第一可旋转透光板对于入射光的透射率与所述第三可旋转透光板对于入射光的透射率之差异小于等于预定值,所述第二可旋转透光板对于入射光的透射率与所述第四可旋转透光板对于入射光的透射率之差异小于等于预定值。
7.如权利要求1所述的光透过率调整装置,其特征在于,所述第一预定值和所述第二预定值均小于等于1%。
8.如权利要求1所述的光透过率调整装置,其特征在于,所述2N个可旋转透光板的旋转角度介于0°~90°之间。
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