[发明专利]光透过率调整装置

说明书

本发明提供了一种光透过率调整装置，包括：光源，用于提供入射光，入射光的入射方向为X方向，垂直于X方向的方向为Y方向，由X方向和Y方向界定出XY平面，垂直于XY平面的方向为Z方向；沿X方向排列的至少两个透光板，至少两个透光板中具有2N个可旋转透光板，N为正整数，2N个可旋转透光板中的任意N个可旋转透光板绕Y方向旋转，另外N个可旋转透光板绕Z方向旋转，并且，通过旋转2N个可旋转透光板，以使得任意N个可旋转透光板和另外N个可旋转透光板对于入射光的透射率一一对应之差异小于等于预定值。本发明提供的光透过率调整装置可以确保出射光与入射光的偏振度一致，而不改变光束的偏振态，从而保证了后续操作的精确执行。

技术领域

本发明涉及光学领域，特别涉及一种光透过率调整装置。

背景技术

光学领域中，通常要利用不同强度的光束来执行相应操作(例如曝光操作)以满足工艺要求。相关技术中，会使得入射光穿过透光板出射出，并且，通过调整透光板的旋转角度来调整入射光的入射角，以调整入射光的透射率，从而实现对于入射光的透过率的调整，来获得不同强度的出射光。

但是，由于透光板对偏振方向与入射面(即入射光线与反射光线所组成的平面)平行的光束的反射率，不同于偏振方向与入射面垂直的光束的反射率，则会使得入射光中偏振方向垂直于入射面的光束的衰减程度，不同于入射光中偏振方向平行于入射面的光束的衰减程度，也即使得入射光中偏振方向垂直于入射面的光束的透射率，不同于入射光中偏振方向平行于入射面的光束的透射率，从而会导致出射光与入射光的偏振度不同，使得两者的偏振态发生不同，影响后续的操作的精确实施(例如影响后续的曝光效果)。

发明内容

本发明的目的在于提供一种光透过率调整装置，以解决利用现有的光透过率调整装置改变入射光的偏振态的问题。

为解决上述技术问题，本发明提供了一种光透过率调整装置，包括：

光源，用于提供入射光，以及，将所述入射光的入射方向定义为X方向，垂直于X方向的方向为Y方向，并由所述X方向和所述Y方向界定出XY平面，垂直于所述XY平面的方向定义为Z方向；

沿X方向排列的2N个可旋转透光板，N为正整数，以及所述2N个可旋转透光板中的任意N个可旋转透光板绕Y方向旋转，另外N个可旋转透光板绕Z方向旋转，则当所述2N个可旋转透光板旋转时，入射光照射于所述任意N个可旋转透光板的入射面和入射光照射于所述另外N个可旋转透光板的入射面垂直，并且，通过旋转所述2N个可旋转透光板，以使得所述任意N个可旋转透光板和所述另外N个可旋转透光板对于入射光的透射率一一对应之差异小于等于预定值。

可选的，所述装置还包括至少两个驱动组件，用于驱动所述任意N个可旋转透光板绕Y方向旋转，以及，用于驱动所述另外N个可旋转透光板绕Z方向旋转。

可选的，所述任意N个可旋转透光板和所述另外N个可旋转透光板在不同的旋转角度下，对应得到不同强度的出射光。

可选的，所述N为偶数；

所述任意N个可旋转透光板中任意N/2个可旋转透光板的旋转方向一致，其余N/2个可旋转透光板的旋转方向一致，所述任意N个可旋转透光板中任意N/2个可旋转透光板的旋转方向与其余N/2个可旋转透光板的旋转方向相反，且所述任意N个可旋转透光板中的任意N/2个可旋转透光板和其余N/2个可旋转透光板的旋转角度一一对应相同；

以及，所述另外N个可旋转透光板中任意N/2个可旋转透光板的旋转方向一致，其余N/2个可旋转透光板的旋转方向一致，所述另外N个可旋转透光板中任意N/2个可旋转透光板的旋转方向与其余N/2个可旋转透光板的旋转方向相反，且另外N个可旋转透光板中的任意N/2个可旋转透光板和其余N/2个可旋转透光板的旋转角度一一对应相同。