[发明专利]系统故障定位系统和方法有效
| 申请号： | 201911051432.4 | 申请日： | 2019-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN111125985B | 公开（公告）日： | 2023-09-26 |
| 发明（设计）人： | 陈鹏任;郑文豪;陈俊宏;陈健辉 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | G06F30/392 | 分类号： | G06F30/392 |
| 代理公司： | 北京德恒律治知识产权代理有限公司 11409 | 代理人： | 章社杲;李伟 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供系统故障定位系统和方法，该方法利用计算GDS辅助导航来加速物理故障分析以识别系统故障位置和图案。在一些实施例中，一种方法包括检测半导体晶圆的多个管芯的多个电故障区域。生成与多个电气故障区域相关联的分解的图形数据库系统(GDS)跨层剪辑。基于分解的GDS跨层剪辑识别多个跨层公共图案。可以针对每个跨层公共图案确定归一化差分，并且可以基于确定的归一化差分来识别每个管芯中的热点的位置。 | ||
| 搜索关键词： | 系统故障 定位 系统 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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