[发明专利]系统故障定位系统和方法有效
申请号: | 201911051432.4 | 申请日: | 2019-10-31 |
公开(公告)号: | CN111125985B | 公开(公告)日: | 2023-09-26 |
发明(设计)人: | 陈鹏任;郑文豪;陈俊宏;陈健辉 | 申请(专利权)人: | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
主分类号: | G06F30/392 | 分类号: | G06F30/392 |
代理公司: | 北京德恒律治知识产权代理有限公司 11409 | 代理人: | 章社杲;李伟 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 系统故障 定位 系统 方法 | ||
1.一种系统故障定位的方法,包括:
检测半导体晶圆的多个管芯的多个电气故障区域;
基于存储在图形数据库系统数据库中的与检测到的电气故障区域相关联的图形数据库系统电子文件,生成与所述多个电气故障区域相关联的分解的图形数据库系统跨层剪辑,生成所述分解的图形数据库系统跨层剪辑包括:
从所述图形数据库系统数据库访问与电气故障区域相关联的图形数据库系统剪辑,每个所述图形数据库系统剪辑表示在相应的一个电气故障区域中的管芯的层;和
通过合并与相应电气故障区域相关联的所述图形数据库系统剪辑,为电气故障区域生成合并的图形数据库系统剪辑;以及
基于所述分解的图形数据库系统跨层剪辑识别多个跨层公共图案。
2.根据权利要求1所述的方法,其中,检测所述多个电气故障区域包括:
通过晶圆测试装置将电测试矢量施加至所述半导体晶圆的所述多个管芯;以及
响应于施加所述电测试矢量,检测所述多个电气故障区域。
3.根据权利要求1所述的方法,其中,通过机器学习电路来识别所述跨层公共图案。
4.根据权利要求1所述的方法,其中,生成所述分解的图形数据库系统跨层剪辑包括将每个所述合并的图形数据库系统剪辑分成多个分解的图形数据库系统跨层剪辑。
5.根据权利要求1所述的方法,还包括:
通过堆叠检测到的电气故障区域来识别系统热点区域,其中根据所述多个管芯上的检测到的电气故障区域的位置来堆叠检测到的电气故障区域,
其中,生成与所述多个电气故障区域相关联的所述分解的图形数据库系统跨层剪辑包括生成与所述系统热点区域相关联的所述分解的图形数据库系统跨层剪辑。
6.根据权利要求1所述的方法,其中,识别跨层公共图案包括通过识别所述分解的图形数据库系统跨层剪辑中的匹配图案来识别所述跨层公共图案。
7.根据权利要求1所述的方法,其中,所述多个跨层公共图案包括与所述多个电气故障区域相关联的第一跨层公共图案以及第二跨层公共图案,所述方法还包括:
基于每个所述第一跨层公共图案与所述第一跨层公共图案中的所有其他跨层公共图案的比率计算第一归一化比率;
基于每个所述第一跨层公共图案与每个管芯的全芯片区域上的所有所述第二跨层公共图案的比率计算第二归一化比率。
8.根据权利要求7所述的方法,还包括:
通过从所述第一归一化比率减去所述第二归一化比率来确定每个所述第一跨层公共图案的归一化差分。
9.根据权利要求8所述的方法,还包括:
基于确定的归一化差异来识别每个管芯中的热点的位置。
10.根据权利要求8所述的方法,还包括:
将所述归一化差分与阈值进行比较;和
响应于跨层公共图案的所述归一化差分超过所述阈值,将跨层公共图案分类为系统跨层公共图案;以及
基于所述系统跨层公共图案识别每个管芯中的热点的位置。
11.根据权利要求10所述的方法,其中,识别每个管芯中的热点的位置包括识别具有与所述系统跨层公共图案匹配的图案的每个管芯的位置。
12.根据权利要求11所述的方法,还包括:
生成所述多个管芯的系统热点分布,并且确定每个识别位置处的热点的相应累积。
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