[发明专利]一种硅材清洗处理系统及方法

摘要

本发明提供一种硅材清洗处理系统及方法，配置了清洗机器人，清洗槽，冲洗槽以及纯水槽。清洗机器人能够实现将待清洗的硅材料进行运输，在清洗槽，冲洗槽以及纯水槽实现清洗处理。清洗槽起到了清洗的作用，冲洗槽对清洗后的硅材料进行冲洗，纯水槽进行进一步的处理，保证了清洗的质量，避免污染后续清洗工序。还能够实现鼓泡，加热等方式，还可以实现自动匹配清洗液，并进行添加。实现了工艺全自动化，智能控制，可以量产，提高生产效率；清洗效果好，能较好的把硅表面杂质清洗掉，实现硅的循环再利用；节省生产成本，节省劳动力。

主权项

1.一种硅材清洗处理系统，其特征在于，包括：清洗机器人(1)，清洗机器人(1)的四周分别设有至少两个清洗槽(2)，至少两个冲洗槽(3)，至少四个纯水槽(4)以及至少三个补液罐；/n清洗槽(2)的侧壁上连接有清洗进液补液管(21)，清洗槽(2)通过进液补液管(21)连接清洗补液罐(5)；清洗槽(2)的底部连接有清洗排液管，清洗排液管上连接有排污阀；/n冲洗槽(3)的侧壁上连接有冲洗进液补液管，冲洗槽(3)通过冲洗进液补液管连接冲洗补液罐(22)；冲洗槽(3)的底部连接有冲洗排液管，冲洗排液管上连接有排污阀；/n纯水槽(4)的侧壁上连接有纯水进液补液管(24)，纯水槽(4)通过纯水进液补液管(24)连接纯水补液罐(23)；纯水槽(4)的底部连接有纯水排液管，冲洗纯水排液管上连接有排污阀；/n清洗机器人(1)设有旋转底座(6)，旋转底座(6)上连接有机械手臂，机械手臂的端部连接有抓取机械手(7)；抓取机械手(7)用于抓取装有硅碎片的硅碎片筛网箱体，并将装有硅碎片的筛网箱体按照预设的清洗程序放入清洗槽(2)，冲洗槽(3)以及纯水槽(4)进行清洗处理。/n