[发明专利]一种对位方法及应用其的直写光刻设备在审
| 申请号： | 201911014338.1 | 申请日： | 2019-10-23 |
| 公开（公告）号： | CN111025853A | 公开（公告）日： | 2020-04-17 |
| 发明（设计）人： | 刘栋;张雷 | 申请（专利权）人： | 苏州源卓光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215026 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种对位方法和直写光刻设备，控制系统根据基板平台上放置基板的对位点分布，设定启动对位相机的预设位置；基板平台运动至预设位置时，启动对位相机抓取对位点图像；根据对位相机抓取的图像，完成对位，在对位过程中，所述基板平台始终保持移动状态。减少了对位过程平台状态的频繁变化，对位过程平台只需完成一次或数次点到点运动，CCD相机在点到点运动的高速运行阶段基于位置事件完成对位点抓拍，有效地缩短了对位时间，提高了曝光机的产能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 对位 方法 应用 光刻 设备 | ||
【主权项】：
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