[发明专利]一种对位方法及应用其的直写光刻设备

权利要求书

1.一种直写光刻设备的对位方法，其特征在于： 控制系统根据基板平台上放置基板的对位点分布，设定启动对位相机的预设位置；基板平台运动至预设位置时，启动对位相机抓取对位点图像；根据对位相机抓取的图像，完成对位，在对位过程中，所述基板平台始终保持移动状态。

2.根据权利要求1所述的对位方法，其特征在于：所述基板平台在对位操作中依次经过加速、匀速、减速过程，所述预设位置均处于所述基板平台匀速运动的过程中。

3.根据权利要求1或2所述的对位方法，其特征在于：所述控制系统根据对位相机抓取的图像时的位置和预设位置之间的误差校正数据。

4.根据权利要求2所述的对位方法，其特征在于：所述基板平台的最大匀速运动的速度，由运动平台加速能力、预留加速距离以及对位相机的视场决定。

5.根据权利要求2所述的对位方法，其特征在于：所述基板平台的最大的加速距离为基板平台从静止运行至第一个所述预设位置的距离。

6.根据权利要求1所述的对位方法，其特征在于：所述预设位置根据对位点处于对位相机视场内时，所述基板平台的所处位置信息设定。

7.根据权利要求1所述的对位方法，其特征在于：所述控制系统接收所述基板平台到达预设位置信号，向所述对位相机发出开启信号，同时检测所述基板平台位置信号。

8.一种直写光刻设备，其包括运动机构，置于运动机构上的基板平台，进行对位操作的对位机构，其特征在于：其还包括控制系统，所述控制系统控制所述运动机构和所述对位机构，其控制所述运动机构匀速运动，并在检测到所述运动机构运行至预先设定的位置时，控制所述对位机构抓取相应的图片。

9.根据权利要求8所述的直写光刻设备，其特征在于：所述控制系统向所述对位机构发出开启信号的同时，检测基板平台的位置信息。

10.根据权利要求9所述的直写光刻设备，其特征在于：所述控制系统对所述对位机构抓取的图片根据对位机构的延迟时间校正数据。