[发明专利]一种晶圆打点设备在审
| 申请号： | 201910998751.X | 申请日： | 2019-10-21 |
| 公开（公告）号： | CN110752138A | 公开（公告）日： | 2020-02-04 |
| 发明（设计）人： | 谭燕玲 | 申请（专利权）人： | 谭燕玲 |
| 主分类号： | H01J37/34 | 分类号： | H01J37/34;C23C14/34 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518000 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种晶圆打点设备，其结构包括：机体、反应箱体、输送辊筒、动力轴、底脚，所述机体顶部位置设有反应箱体，本发明的有益效果：通过在结构上设有反应箱体来解决这个问题，利用反应箱体中的电场装置改变电子的物理性质，通过带动分子急速变化与粒子频率实现同步，同时借助粒子挡板独特的空心三角锥构造避免粒子弹起后撞到粒子挡板后再次下落对圆晶产生二次溅镀作用，并且配有粒子吸收器加速吸收反弹的粒子，最大化程度减少粒子对圆晶产生的二次不良反应影响。 | ||
| 搜索关键词： | 反应箱体 粒子 挡板 空心三角锥 打点设备 电场装置 机体顶部 急速变化 粒子频率 粒子吸收 输送辊筒 物理性质 弹起 动力轴 最大化 底脚 溅镀 种晶 反弹 吸收 | ||
【主权项】：
1.一种晶圆打点设备，其结构包括：机体（1）、反应箱体（2）、输送辊筒（3）、动力轴（4）、底脚（5），其特征在于：/n所述机体（1）顶部位置设有反应箱体（2），反应箱体（2）侧边连接输送辊筒（3）与动力轴（4），输送辊筒（3）、动力轴（4）两者彼此相连并联动，底脚（5）位于机体（1）底部四角。/n
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