[发明专利]一种晶圆打点设备

权利要求书

1.一种晶圆打点设备，其结构包括：机体（1）、反应箱体（2）、输送辊筒（3）、动力轴（4）、底脚（5），其特征在于：

所述机体（1）顶部位置设有反应箱体（2），反应箱体（2）侧边连接输送辊筒（3）与动力轴（4），输送辊筒（3）、动力轴（4）两者彼此相连并联动，底脚（5）位于机体（1）底部四角。

2.根据权利要求1所述一种晶圆打点设备，其特征在于：所述反应箱体（2）由反应腔（7）、电场装置（8）、发射板（9）、靶材腔（10）、粒子挡板（11）、圆晶放置板（12）、正极板（13）、粒子吸收器（14）组成，所述反应腔（7）顶部位置设有电场装置（8）并与其相连，电场装置（8）底部通过发射板（9）连接靶材腔（10），靶材腔（10）下方位置对应设有粒子挡板（11），粒子挡板（11）下则设有圆晶放置板（12）与正极板（13），粒子吸收器（14）位于反应腔（7）两侧并对应粒子挡板（11）。

3.根据权利要求2所述一种晶圆打点设备，其特征在于：所述电场装置（8）由机座（16）、转鼓（17）、电极管（18）、控制块（19）、集液盘（20）、液体导管（21）组成，所述机座（16）连接转鼓（17），转鼓（17）内设有电极管（18）与控制块（19），控制块（19）通过集液盘（20）连接液体导管（21）,所述机座（16）中端位置设有转鼓（17）并与其相连，转鼓（17）内设有电极管（18）与控制块（19），控制块（19）通过集液盘（20）连接液体导管（21）。

4.根据权利要求2所述一种晶圆打点设备，其特征在于：所述粒子挡板（11）由环形轨道座（23）、滑轨杆（24）、渗透孔（25）、三角挡块（26）、通孔（27）组成，所述环形轨道座（23）连接滑轨杆（24），滑轨杆（24）设有渗透孔（25）并联通三角挡块（26），三角挡块（26）内设有通孔（27）。

5.根据权利要求2所述一种晶圆打点设备，其特征在于：所述粒子吸收器（14）由风机（29）、负压腔（30）、冷却管（31）、抽吸板（32）组成，所述风机（29）联通负压腔（30），负压腔（30）设有冷却管（31）且与其相连，冷却管（31）相邻位置设有抽吸板（32）。