[发明专利]一种磁场探针台在审
| 申请号： | 201910966326.2 | 申请日： | 2019-10-12 |
| 公开（公告）号： | CN110736501A | 公开（公告）日： | 2020-01-31 |
| 发明（设计）人： | 张学莹;王麟;赵巍胜;欧阳玉东 | 申请（专利权）人： | 致真精密仪器(青岛)有限公司 |
| 主分类号： | G01D21/02 | 分类号： | G01D21/02 |
| 代理公司： | 11689 北京智绘未来专利代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 赵卿 |
| 地址： | 266100 山东省青岛市崂山区松*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明提出一种磁场探针台，包括：台面、至少一对探针座、至少一对电学探针、至少一对面内磁极、导磁结构、励磁线圈、励磁线圈供电单元及台面支撑装置；相对于传统探针台结构，本发明导磁结构与励磁线圈放置于台面下方，不会对电学探针和光学模块的配置造成干扰；并且节省了空间，能够允许配置台面下方的样品台、垂直磁铁；当物镜转动切换时，不会因为励磁线圈体积过大而使得光学模块中的物镜碰到线圈；本发明提出的磁极固定方式设置为相对磁极距离可调的模式，根据测试需求，设置磁极间距，适应不同的测试需要，本发明还可以与磁光克尔显微镜配合使用。 | ||
| 搜索关键词： | 励磁线圈 台面 导磁结构 光学模块 电学 探针 物镜 磁极 台面支撑装置 测试需求 传统探针 磁场探针 磁极固定 磁极距离 方式设置 供电单元 转动切换 可调的 内磁极 台结构 探针座 样品台 磁铁 磁光 显微镜 配置 垂直 测试 | ||
【主权项】：
1.一种磁场探针台，其特征在于：/n该探针台包括：台面、至少一对探针座、至少一对电学探针、至少一对面内磁极、导磁结构、励磁线圈、励磁线圈供电单元及台面支撑装置；/n所述台面为环形结构，面内磁极固定在台面下环形结构的内侧，探针座固定在台面的上表面，电学探针安装在探针座上，导磁结构固定在台面的下表面，励磁线圈缠绕在导磁结构表面，励磁线圈供电单元为励磁线圈供电，台面支撑装置将台面固定在实验台上。/n
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