[发明专利]一种磁场探针台在审
| 申请号: | 201910966326.2 | 申请日: | 2019-10-12 |
| 公开(公告)号: | CN110736501A | 公开(公告)日: | 2020-01-31 |
| 发明(设计)人: | 张学莹;王麟;赵巍胜;欧阳玉东 | 申请(专利权)人: | 致真精密仪器(青岛)有限公司 |
| 主分类号: | G01D21/02 | 分类号: | G01D21/02 |
| 代理公司: | 11689 北京智绘未来专利代理事务所(普通合伙) | 代理人: | 赵卿 |
| 地址: | 266100 山东省青岛市崂山区松*** | 国省代码: | 山东;37 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 励磁线圈 台面 导磁结构 光学模块 电学 探针 物镜 磁极 台面支撑装置 测试需求 传统探针 磁场探针 磁极固定 磁极距离 方式设置 供电单元 转动切换 可调的 内磁极 台结构 探针座 样品台 磁铁 磁光 显微镜 配置 垂直 测试 | ||
1.一种磁场探针台,其特征在于:
该探针台包括:台面、至少一对探针座、至少一对电学探针、至少一对面内磁极、导磁结构、励磁线圈、励磁线圈供电单元及台面支撑装置;
所述台面为环形结构,面内磁极固定在台面下环形结构的内侧,探针座固定在台面的上表面,电学探针安装在探针座上,导磁结构固定在台面的下表面,励磁线圈缠绕在导磁结构表面,励磁线圈供电单元为励磁线圈供电,台面支撑装置将台面固定在实验台上。
2.根据权利要求1所述的磁场探针台,其特征在于:
所述环形结构为封闭式环形结构或者开口式环形结构。
3.根据权利要求1所述的磁场探针台,其特征在于:
所述面内磁极具有磁极固定装置,每个面内磁极均通过其对应的固定装置被固定到台面下环形结构的内侧,通过调节磁极固定装置能够调节磁极之间的距离。
4.根据权利要求1所述的磁场探针台,其特征在于:
所述探针座带有空间位移调节装置,能够调节三个维度的空间位置。
5.根据权利要求1所述的磁场探针台,其特征在于:
所述电学探针为直流探针或者微波探针。
6.根据权利要求1所述的磁场探针台,其特征在于:
所述面内磁极即为是产生平行于待测试样品表面的磁场的磁极。
7.根据权利要求1所述的磁场探针台,其特征在于:
在所述面内磁极之间放置待测试样品,且样品下面设置有样品台,待测试样品被放置在样品台上。
8.根据权利要求7或者权利要求8所述的磁场探针台,其特征在于:
所述待测试样品下方能够设置有垂直磁极。
9.根据权利要求7或者权利要求8所述的磁场探针台,其特征在于:
所述待测试样品上方设置磁光克尔显微镜。
10.根据权利要求1所述的磁场探针台,其特征在于:
所述台面及探针座材料为无磁材料,所述面内磁极及导磁结构材料为铁磁性或者亚铁磁性物质。
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