[发明专利]一种磁场探针台

说明书

本发明提出一种磁场探针台，包括：台面、至少一对探针座、至少一对电学探针、至少一对面内磁极、导磁结构、励磁线圈、励磁线圈供电单元及台面支撑装置；相对于传统探针台结构，本发明导磁结构与励磁线圈放置于台面下方，不会对电学探针和光学模块的配置造成干扰；并且节省了空间，能够允许配置台面下方的样品台、垂直磁铁；当物镜转动切换时，不会因为励磁线圈体积过大而使得光学模块中的物镜碰到线圈；本发明提出的磁极固定方式设置为相对磁极距离可调的模式，根据测试需求，设置磁极间距，适应不同的测试需要，本发明还可以与磁光克尔显微镜配合使用。

技术领域：

本发明属于测试测量技术领域，具体涉及一种磁场探针台。

背景技术：

能够集成磁场、电学和光学模块的测量系统对于电子器件的测试具有重要用途。但是，由于磁场发生模块(包括电磁铁)、电学模块(包括直流/高频交流探针等)、光 学探测模块(包括物镜等)均需要占据空间而不兼容，给系统集成带来极大难度。为了 达到较高磁场，一般需要使用铁磁物质作为磁极或磁靴，磁极或者磁靴需要距离样品较 近。同时，为了使系统能够兼容光学测试需要，需要在探针台上方距离样品较近的地方 有足够空间，以便容纳物镜等光学元件；为了进行电学测试，通常需要配置多个探针， 且探针需要与磁场发生装置及光学模块兼容。尤其是，当使用高放大倍率的物镜进行成 像测量时，需要样品与物镜距离很近(即，样品必须位于物镜成像的焦点上)，这为磁 场发生装置、电学测试装置与光学模块的兼容配置带来挑战。

当前的各种探针台很难实现多维度磁场，直流/交流探针和高倍显微成像的集成。

发明内容：

基于以上技术不足，本发明公开一种磁铁探针台，在集成了多维度磁铁和多功能测 试探针的基础上，可兼容高倍成像显微镜，能够解决以上难题。

本发明设计了一种磁场探针台结构，能够集成多维度磁场、电学测试模块。探针台能够兼容高倍物镜成像模块。

一种磁场探针台，包括：台面、至少一对探针座、至少一对电学探针、至少一对面内磁极、导磁结构、励磁线圈、励磁线圈供电单元及台面支撑装置；

所述台面为环形结构，面内磁极固定在台面下环形结构的内侧，探针座固定在台面 的上表面，电学探针安装在探针座上，导磁结构固定在台面的下表面，励磁线圈缠绕在导磁结构表面，励磁线圈供电单元为励磁线圈供电，台面支撑装置将台面固定在实验台上。

所述环形结构为封闭式环形结构或者开口式环形结构。

所述面内磁极具有磁极固定装置，每个面内磁极均通过其对应的固定装置被固定到 台面下环形结构的内侧，通过调节磁极固定装置能够调节磁极之间的距离。

所述探针座带有空间位移调节装置，能够调节三个维度的空间位置。

所述电学探针为直流探针或者微波探针。

所述面内磁极是产生平行于待测试样品表面的磁场的磁极。

在所述面内磁极之间放置待测试样品，且样品下面设置有样品台，待测试样品被放 置在样品台上。

所述待测试样品下方能够设置有垂直磁极。

所述待测试样品上方设置磁光克尔显微镜。

所述台面及探针座材料为无磁材料，所述面内磁极及导磁结构材料为铁磁性或者亚 铁磁性物质。

有益技术效果：

传统常用的铁磁结构是将励磁线圈缠绕于磁极周围，在集磁场、电学与光学测 试与一体的结构中，此种励磁线圈的配置会使得电学探针和光路的配置变得困难， 在空间上容易出现不兼容的难题。