[发明专利]检测系统及基于检测系统的检测方法在审
| 申请号： | 201910892691.3 | 申请日： | 2019-09-20 |
| 公开（公告）号： | CN112540083A | 公开（公告）日： | 2021-03-23 |
| 发明（设计）人： | 陈鲁;黄有为;崔高增;王天民;马凯;庞芝亮 | 申请（专利权）人： | 深圳中科飞测科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88;G01N21/94 |
| 代理公司： | 北京永新同创知识产权代理有限公司 11376 | 代理人： | 杨胜军 |
| 地址： | 518110 广东省深圳市龙华区大浪街*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了检测系统及基于该检测系统的检测方法，检测系统包括：检测光生成单元、第一信号探测单元以及第二信号探测单元；检测光生成单元向待测物发射第一检测光和第二检测光，其中，待测物包括相对设置的第一表面和第二表面，第一检测光经第一表面散射形成第一信号光，第二检测光自第一表面透过待测物并经第二表面散射形成第二信号光；第一信号探测单元收集第一信号光，并根据第一信号光生成第一检测信息；第二信号探测单元收集第二信号光，并根据第二信号光生成第二检测信息。与现有技术相比，本发明在检测透明膜状结构的表面的过程中具有检测速度快、检测结果精度高等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 检测 系统 基于 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于深圳中科飞测科技股份有限公司，未经深圳中科飞测科技股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910892691.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：非连续接收参数配置方法及设备
- 下一篇：一种加热器、加热方法及等离子处理器
