[发明专利]检测系统及基于检测系统的检测方法

权利要求书

1.一种检测系统，其特征在于，所述系统包括：

检测光生成单元，被配置为向待测物发射第一检测光和第二检测光，其中，所述待测物包括相对设置的第一表面和第二表面，所述第一检测光经所述第一表面散射形成第一信号光，所述第二检测光自所述第一表面透过所述待测物并经所述第二表面散射形成第二信号光；

第一信号探测单元，被配置为收集所述第一信号光，并根据所述第一信号光生成第一检测信息；以及

第二信号探测单元，被配置为收集所述第二信号光，并根据所述第二信号光生成第二检测信息。

2.根据权利要求1所述的检测系统，其特征在于，所述第一信号探测单元的感光面位置与所述第一表面的待测位置相互共轭；和/或

所述第二信号探测单元的感光面位置与所述第二表面的待测位置相互共轭。

3.根据权利要求1所述的检测系统，其特征在于，所述系统进一步包括：第一光位移单元和第二光位移单元中的一者或两者组合；

所述第一光位移单元被配置为改变所述第一表面的待测位置的成像位置；

所述第二光位移单元被配置为改变所述第二表面的待测位置的成像位置。

4.根据权利要求3所述的检测系统，其特征在于，所述第一信号探测单元包括第一信号光收集器和第一光电探测器，所述第一信号光收集器被配置为收集所述第一信号光，并使所述第一信号光经所述第一光位移单元汇聚至所述第一光电探测器；和/或

所述第二信号探测单元包括第二信号光收集器和第二光电探测器，所述第二信号光收集器被配置为收集所述第二信号光，并使所述第二信号光经所述第二光位移单元汇聚至所述第二光电探测器。

5.根据权利要求4所述的检测系统，其特征在于，所述检测光生成单元是点光斑生成器或线光斑生成器；并且在所述检测光生成单元是点光斑生成器的情况下，所述第一光电探测器和所述第二光电探测器是光功率计；在所述检测光生成单元是线光斑生成器的情况下，所述第一光电探测器和所述第二光电探测器是线探测器。

6.根据权利要求3所述的检测系统，其特征在于，

所述第一光位移单元被配置为使所述第一表面的待测位置的成像位置的改变量可调；和/或

所述第二光位移单元被配置为使所述第二表面的待测位置的成像位置的改变量可调。

7.根据权利要求3所述的检测系统，其特征在于，所述第一光位移单元被配置为增加所述第一表面与所述第二表面之间的相对距离；和/或所述第二光位移单元被配置为增加所述第一表面与所述第二表面之间的相对距离。

8.根据权利要求3所述的检测系统，其特征在于，所述第一光位移单元和/或所述第二光位移单元包括单个棱镜或双楔棱镜，所述双楔棱镜包括斜边平行设置的第一楔形棱镜和第二楔形棱镜。

9.根据权利要求8所述的检测系统，其特征在于，所述第一楔形棱镜和所述第二楔形棱镜的相对距离可调。

10.根据权利要求1所述的检测系统，其特征在于，所述第一检测光和所述第二检测光的波长相同或不同。

11.根据权利要求3所述的检测系统，其特征在于，所述第一光位移单元包括第一光位移片承载单元和位于所述第一光位移片承载单元内的多个光位移片，所述多个光位移片对所述第一信号光传播方向的改变量不同，所述光位移片承载单元被配置使不同的光位移片进入光路；

所述第二光位移单元包括第二光位移片承载单元和位于所述第二光位移片承载单元内的多个光位移片，所述多个光位移片对所述第二信号光传播方向的改变量不同，所述光位移片承载单元被配置使不同的光位移片进入光路。