[发明专利]静电吸盘系统、成膜装置、吸附及分离方法、成膜方法及电子器件的制造方法在审
| 申请号： | 201910889626.5 | 申请日： | 2019-09-20 |
| 公开（公告）号： | CN110938805A | 公开（公告）日： | 2020-03-31 |
| 发明（设计）人： | 柏仓一史;石井博;细谷映之 | 申请（专利权）人： | 佳能特机株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/24;C23C14/04;C23C14/56;H01L21/683;H01L51/56 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 刘杨 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供静电吸盘系统、成膜装置、吸附及分离方法、成膜方法及电子器件的制造方法。静电吸盘系统的特征在于，包括：静电吸盘，包括电极部；电压施加部，用于对所述静电吸盘的所述电极部施加电压；以及电压控制部，用于控制基于所述电压施加部的电压施加，所述电压控制部控制所述电压施加部，以对所述电极部施加第3电压和第5电压，该第3电压用于使第2被吸附体隔着第1被吸附体吸附于所述静电吸盘，该第5电压用于在使所述第1被吸附体吸附于所述静电吸盘的状态下，使所述第2被吸附体从所述静电吸盘分离。 | ||
| 搜索关键词： | 静电 吸盘 系统 装置 吸附 分离 方法 电子器件 制造 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于佳能特机株式会社，未经佳能特机株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910889626.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
