[发明专利]离子植入系统及其衬套有效
| 申请号： | 201910881866.0 | 申请日： | 2019-09-18 |
| 公开（公告）号： | CN110957202B | 公开（公告）日： | 2022-08-05 |
| 发明（设计）人： | 蒙英傑;彭垂亚;郑迺汉 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/02 | 分类号： | H01J37/02;H01J37/317 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国 |
| 地址： | 中国台湾新竹市*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本揭示案的实施例描述一种离子植入系统及其衬套。离子植入系统包括设计成减少IMP副产物累积在衬套内表面上的衬套。离子植入系统可包括腔室、配置成生成离子束的离子源、及耦接离子源与腔室的衬套。衬套可包括(i)具有内表面、第一端及第二端的管状体，及(ii)设置在管状体的内表面内的多个倾斜沟槽，其中多个倾斜沟槽的每一者朝向管状体的第二端延伸。 | ||
| 搜索关键词： | 离子 植入 系统 及其 衬套 | ||
【主权项】：
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