[发明专利]一种阵列基板及其制备方法、显示装置在审
| 申请号： | 201910878822.2 | 申请日： | 2019-09-18 |
| 公开（公告）号： | CN110707096A | 公开（公告）日： | 2020-01-17 |
| 发明（设计）人： | 张乐陶;张良芬;徐乾坤;张晓星 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号： | H01L27/12 | 分类号： | H01L27/12;H01L21/77 |
| 代理公司： | 44300 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) | 代理人： | 杨瑞 |
| 地址： | 518132 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种阵列基板及其制备方法、显示装置，一方面，本发明通过半色调掩膜工艺将含有第二扫描信号走线的第三金属层设置于所述像素电极上，由此可以减少光罩数量，从而节约生产成本；另一方面，本发明避免了将第二扫描信号走线设置在栅极下方时需设置的缓冲层，由此更加节约生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 节约生产成本 扫描信号 显示装置 像素电极 掩膜工艺 阵列基板 走线设置 半色调 缓冲层 金属层 光罩 走线 制备 | ||
【主权项】：
1.一种阵列基板，其特征在于，包括：/n基板；/n第一金属层，其包括设置于所述基板上的第一扫描信号走线和栅极；/n栅极绝缘层，其设置于所述第一金属层上；/n有源层，其设置于所述栅极绝缘层上；/n蚀刻阻挡层，其设置于所述有源层上；/n第二金属层，其包括设置于所述蚀刻阻挡层上的源极、漏极以及连接于所述漏极上的数据信号走线；/n所述源极和漏极通过第一通孔连接于所述有源层上；/n钝化层，其设置于所述第二金属层上；/n像素电极，其包括设置于所述钝化层上的第一像素电极和第二像素电极；/n所述第一像素电极通过第二通孔连接于所述第一扫描信号走线上；所述第二像素电极层通过第三通孔连接于所述源极上；/n第三金属层，其包括设置于所述第一像素电极上的第二扫描信号走线。/n
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的；包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的；包括有热磁组件的
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