[发明专利]一种垂直连续旋转蚀刻机

摘要

本发明公开了一种垂直连续旋转蚀刻机，包括上下料段、显影段、第一水洗段、检视段、蚀刻段、第二水洗段、膨松段、退膜段、第三水洗段、微蚀抗氧化段、第四水洗段和烘干段，该垂直连续旋转蚀刻机通过垂直的方式，可以最大限度地杜绝水池效应，解决蚀刻料号双面蚀刻均匀性差异的问题；通过蚀刻盘持续旋转的方式可以利用重力的方式让蚀刻药水迅速排开加快药水交换，提高蚀刻精度；通过连续传输的方式不同的工作段不需要停机换料，直接流水线作业，大大提高了效率，节约了人力；其上下料段还可以配备机械手上下料，完全实现全自动生产；可以用一流体的喷淋方式或者二流体的喷淋方式，二流体喷淋的方式将更有利于提高蚀刻精度。