[发明专利]一种垂直连续旋转蚀刻机

说明书

本发明公开了一种垂直连续旋转蚀刻机，包括上下料段、显影段、第一水洗段、检视段、蚀刻段、第二水洗段、膨松段、退膜段、第三水洗段、微蚀抗氧化段、第四水洗段和烘干段，该垂直连续旋转蚀刻机通过垂直的方式，可以最大限度地杜绝水池效应，解决蚀刻料号双面蚀刻均匀性差异的问题；通过蚀刻盘持续旋转的方式可以利用重力的方式让蚀刻药水迅速排开加快药水交换，提高蚀刻精度；通过连续传输的方式不同的工作段不需要停机换料，直接流水线作业，大大提高了效率，节约了人力；其上下料段还可以配备机械手上下料，完全实现全自动生产；可以用一流体的喷淋方式或者二流体的喷淋方式，二流体喷淋的方式将更有利于提高蚀刻精度。

技术领域

本发明涉及蚀刻机相关领域，具体是一种垂直连续旋转蚀刻机。

背景技术

目前市面上绝大部分是水平传输的蚀刻机，水平传输蚀刻机生产效率高但水平传输蚀刻机由于有水池效应，导致上下面蚀刻存在不均匀问题，也导致药水置换缓慢蚀刻精度难以提高的问题，目前水平蚀刻机中的真空蚀刻机也未能完全杜绝水池效应；而且水平传输蚀刻机由于传输滚轮的存在无法满足市面上对线宽线距越来越细越来越精密的要求。

目前市面上的垂直旋转蚀刻机，存在两个重大缺陷，第一个是由于旋转时并不是靠圆中心的轴承旋转，在蚀刻时不能同时利用重力和离心力将蚀刻药水迅速甩出，蚀刻完后也不能马上利用离心力将蚀刻药水甩干，虽然垂直旋转蚀刻机和水平传输蚀刻机比蚀刻精度有很大提升，但这个缺陷对蚀刻精度也有重大影响；第二是垂直旋转蚀刻机上下料非常麻烦，用不同的机器分别进行显影--水洗--蚀刻--水洗--膨松--退膜—水洗—微蚀—抗氧化—水洗—烘干，不同的工作段需要停机打开机门然后手工上下料，非常耗时耗力，生产效率非常低。

目前市面上的水平旋转蚀刻机只能进行用下喷的方式进行单面生产，如果是双面的水平旋转蚀刻机上喷面很难解决圆心和圆外围蚀刻不均匀的问题，也根本无法做稍微大一点尺寸的料号，和垂直旋转蚀刻机一样存在生产效率低下的问题；同时市面上的蚀刻机水洗段一般都有15-18道水洗段，普遍存在能耗高和耗水量高的问题。

发明内容

因此，为了解决上述不足，本发明在此提供一种垂直连续旋转蚀刻机。

本发明是这样实现的，构造一种垂直连续旋转蚀刻机，该装置包括上下料段、显影段、第一水洗段、检视段、蚀刻段、第二水洗段、膨松段、退膜段、第三水洗段、微蚀抗氧化段、第四水洗段、烘干段、支撑架、传动环形轨道、环形传动电机、第一伺服电机、驱动皮带、蚀刻转盘和滑动电刷，所述上下料段、显影段、第一水洗段、检视段、蚀刻段、第二水洗段、膨松段、退膜段、第三水洗段、微蚀抗氧化段、第四水洗段和烘干段形成整套蚀刻流程，并且其呈椭圆状环绕分布在支撑架外侧，所述支撑架顶部固定有传动环形轨道，所述传动环形轨道左部内侧与环形传动电机的输出轴传动配合，并且环形传动电机底部通过螺栓与支撑架相固定，所述第一伺服电机底部与传动环形轨道顶侧相连接，并且第一伺服电机通过传动环形轨道在支撑架上呈椭圆状移动，所述第一伺服电机的外侧输出轴通过支杆与驱动皮带相连接，并且驱动皮带底部外侧与蚀刻转盘同轴转动，所述第一伺服电机顶部设置有滑动电刷。

优选的，所述显影段、蚀刻段和退膜段的结构相同，所述蚀刻段包括第一罩体、第一集液箱、第一水泵、第一喷管和气缸，所述第一罩体底部与第一集液箱呈一体化结构，所述第一集液箱顶部外侧通过螺栓紧固有第一水泵，所述第一水泵底部进水端通过管道伸入第一集液箱内部底侧，所述第一水泵顶侧出水端通过蚀刻液管贯穿于第一罩体内侧并且与第一喷管相连接，所述第一喷管固定于第一罩体内侧，所述第一喷管对底部进气口通过气管与气缸，并且气缸设置与第一集液箱外侧。

优选的，所述第一水洗段、第二水洗段、膨松段、第三水洗段、微蚀抗氧化段和第四水洗段的结构相同，所述水洗段包括第二罩体、第二集液箱、第二水泵和第二喷管，所述第二罩体底部与第二集液箱呈一体化结构，所述第二集液箱顶部外侧通过螺栓紧固有第二水泵，所述第二水泵底部进水端通过管道伸入第二集液箱内部底侧，所述第二水泵顶侧出水端通过蚀刻液管贯穿于第二罩体内侧并且与第二喷管相连接，所述第二喷管固定于第二罩体内侧。