[发明专利]一种垂直连续旋转蚀刻机

权利要求书

1.一种垂直连续旋转蚀刻机，其特征在于：包括上下料段（1）、显影段（2）、第一水洗段（3）、检视段（4）、蚀刻段（5）、第二水洗段（6）、膨松段（7）、退膜段（8）、第三水洗段（9）、微蚀抗氧化段（10）、第四水洗段（11）、烘干段（12）、支撑架（13）、传动环形轨道（14）、环形传动电机（15）、第一伺服电机（16）、驱动皮带（17）、蚀刻转盘（18）和滑动电刷（19），所述上下料段（1）、显影段（2）、第一水洗段（3）、检视段（4）、蚀刻段（5）、第二水洗段（6）、膨松段（7）、退膜段（8）、第三水洗段（9）、微蚀抗氧化段（10）、第四水洗段（11）和烘干段（12）形成整套蚀刻流程，并且其呈椭圆状环绕分布在支撑架（13）外侧，所述支撑架（13）顶部固定有传动环形轨道（14），所述传动环形轨道（14）左部内侧与环形传动电机（15）的输出轴传动配合，并且环形传动电机（15）底部通过螺栓与支撑架（13）相固定，所述第一伺服电机（16）底部与传动环形轨道（14）顶侧相连接，并且第一伺服电机（16）通过传动环形轨道（14）在支撑架（13）上呈椭圆状移动，所述第一伺服电机（16）的外侧输出轴通过支杆与驱动皮带（17）相连接，并且驱动皮带（17）底部外侧与蚀刻转盘（18）同轴转动，所述第一伺服电机（16）顶部设置有滑动电刷（19）。

2.根据权利要求1所述一种垂直连续旋转蚀刻机，其特征在于：所述显影段（2）、蚀刻段（5）和退膜段（8）的结构相同，所述蚀刻段（5）包括第一罩体（51）、第一集液箱（52）、第一水泵（53）、第一喷管（54）和气缸（55），所述第一罩体（51）底部与第一集液箱（52）呈一体化结构，所述第一集液箱（52）顶部外侧通过螺栓紧固有第一水泵（53），所述第一水泵（53）底部进水端通过管道伸入第一集液箱（52）内部底侧，所述第一水泵（53）顶侧出水端通过蚀刻液管贯穿于第一罩体（51）内侧并且与第一喷管（54）相连接，所述第一喷管（54）固定于第一罩体（51）内侧，所述第一喷管（54）对底部进气口通过气管与气缸（55），并且气缸（55）设置与第一集液箱（52）外侧。

3.根据权利要求1所述一种垂直连续旋转蚀刻机，其特征在于：所述第一水洗段（3）、第二水洗段（6）、膨松段（7）、第三水洗段（9）、微蚀抗氧化段（10）和第四水洗段（11）的结构相同，所述水洗段（3）包括第二罩体（31）、第二集液箱（32）、第二水泵（33）和第二喷管（34），所述第二罩体（31）底部与第二集液箱（32）呈一体化结构，所述第二集液箱（32）顶部外侧通过螺栓紧固有第二水泵（33），所述第二水泵（33）底部进水端通过管道伸入第二集液箱（32）内部底侧，所述第二水泵（33）顶侧出水端通过蚀刻液管贯穿于第二罩体（31）内侧并且与第二喷管（34）相连接，所述第二喷管（34）固定于第二罩体（31）内侧。

4.根据权利要求1所述一种垂直连续旋转蚀刻机，其特征在于：所述烘干段（12）包括第三罩体（121）、置放箱（122）、风机（123）和风刀（124），所述第三罩体（121）底部与置放箱（122）呈一体化结构，所述置放箱（122）顶部外侧通过螺栓紧固有风机（123），所述风机（123）内侧出风口通过风管贯穿于第三罩体（121）内侧并且与风刀（124）相连接，所述风刀（124）固定于第三罩体（121）内侧。

5.根据权利要求2所述一种垂直连续旋转蚀刻机，其特征在于：所述第一喷管（54）共设置有若干组，并且若干组第一喷管（54）在第一罩体（51）内侧对称设置。

6.根据权利要求3所述一种垂直连续旋转蚀刻机，其特征在于：所述第二喷管（34）共设置有若干组，并且若干组第二喷管（34）在第二罩体（31）内侧对称设置。

7.根据权利要求4所述一种垂直连续旋转蚀刻机，其特征在于：所述风刀（124）共设置有若干组，并且若干组风刀（124）在第三罩体（121）内侧对称设置。

8.根据权利要求1所述一种垂直连续旋转蚀刻机，其特征在于：所述第一伺服电机（16）共设置有若干组，并且若干组第一伺服电机（16）之间的间距两两相等，同时若干组第一伺服电机（16）分别位于上下料段（1）、显影段（2）、第一水洗段（3）、检视段（4）、蚀刻段（5）、第二水洗段（6）、膨松段（7）、退膜段（8）、第三水洗段（9）、微蚀抗氧化段（10）、第四水洗段（11）和烘干段（12）内侧中部。