[发明专利]一种工业用大型真空机系统在审

专利信息
申请号: 201910867830.7 申请日: 2019-09-15
公开(公告)号: CN110469484A 公开(公告)日: 2019-11-19
发明(设计)人: 陈舟;李甲铎;徐滕州 申请(专利权)人: 芜湖聚创新材料有限责任公司;南京工业大学
主分类号: F04B37/14 分类号: F04B37/14;F04B41/06;F04C18/12;F04C25/02;F04F9/00;B65B31/02;G01V8/10
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 241080 *** 国省代码: 安徽;34
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摘要: 发明提供了一种工业用大型真空机系统,此系统包含两个子系统:抽真空系统和箱体系统,包括以下步骤:放好物料后,箱座上升与箱盖密封结合,阀120开启,旋片泵进行粗抽,接着罗茨泵开始工作,当压力达到设定值时,阀120关闭,阀110和阀130打开,扩散泵开始工作,抽气完成后各级泵停止工作。箱体由箱盖和箱座组成,其中箱体固定安装,箱座由气缸带动沿导轨运行。本发明中箱盖和箱座之间安装有光幕感器,在箱盖向上动作时,光幕感器接通,遇到障碍时光幕感器动作,同时箱盖停止动作并复位,提高了工作过程的安全性。
搜索关键词: 箱盖 箱座 感器 光幕 抽真空系统 密封结合 气缸带动 停止动作 箱体系统 泵停止 此系统 工业用 扩散泵 罗茨泵 旋片泵 真空机 中箱盖 复位 抽气 粗抽 导轨 接通
【主权项】:
1.一种工业用大型真空机系统,其特征在于,包含抽真空系统和箱体系统两个子系统。/n
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