[发明专利]一种工业用大型真空机系统

权利要求书

1.一种工业用大型真空机系统，其特征在于，包含抽真空系统和箱体系统两个子系统。

2.如权利要求1所述的一种工业用大型真空机系统，其特征在于，所述抽真空系统包括四个泵：罗茨泵140、旋片泵150、维持泵160和扩散泵170，其中罗茨泵和旋片泵串联连接。

3.如权利要求1或2所述的一种工业用大型真空机系统，其特征在于：所述罗茨泵和旋片泵上连接有管道14，管道14与管道13相连，管道12与管道13相连，管道12与管道13端口位于扩散泵的上端，以此将扩散泵与上端与罗茨泵和旋片泵连接，扩散泵的底部连接有管道16和管道15，两管道接通连接到管道17上，管道17通过管道18与维持泵连接，通过管道19与管道14连接。

4.如权利要求1-3所述的一种工业用大型真空机系统，其特征在于：所述管道13端部安装有阀120，所述管道17端部安装有阀130。

5.如权利要求1-4所述的一种工业用大型真空机系统，其特征在于，所述箱体包括箱盖5和箱座6，箱体通过箱盖顶部的通气管3和箱座底部的通气管4与扩散泵连接，其中通气管4端部为可拉伸和压缩的弹簧管。

6.如权利要求1-5所述的一种工业用大型真空机系统，其特征在于，所述箱盖通过与地面固定连接的支架7固定安装，箱座通过布置在箱座四角的气缸8可沿导柱12上下往返运动。

7.如权利要求1-6所述的一种工业用大型真空机系统，其特征在于，所述箱盖和箱座上安装有光幕感器。

8.如权利要求1-7所述的一种工业用大型真空机系统，其特征在于,所述箱盖内固定安装有架体13，架体上有封装组，每组包含一个固定安装的支撑板和两个与压板相向对称分布的可通过气缸10同步运动的压板。

9.如权利要求1-8所述的一种工业用大型真空机系统，其特征在于：

(一)箱盖固定，箱座上下运动，必须保证合上时箱座和箱盖之间以及管道连接件之间的密封性；

(二)可通过增加封装组的方式增大生产率，但封装组不宜过多，一般不超过三组；

(三)弹簧管可在较大范围内实现拉伸和压缩。