[发明专利]一种加热器支撑基体的制备方法及加热器的制备方法有效
| 申请号： | 201910854354.5 | 申请日： | 2019-09-10 |
| 公开（公告）号： | CN110512188B | 公开（公告）日： | 2021-01-22 |
| 发明（设计）人： | 何军舫 | 申请（专利权）人： | 博宇（天津）半导体材料有限公司;北京博宇半导体工艺器皿技术有限公司;博宇（朝阳）半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/34 | 分类号： | C23C16/34;C23C16/56;C23C16/26;H05B3/02;H05B3/14;H05B3/26 |
| 代理公司： | 北京中政联科专利代理事务所(普通合伙) 11489 | 代理人： | 郑久兴 |
| 地址： | 301802 天津市宝坻区中关村*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 一种加热器支撑基体的制备方法及加热器的制备方法，其中，加热器支撑基体的制备方法包括：制备基体本体；对所述基体本体进行处理，使所述基体本体的表面形成第一区域和第二区域，且所述第一区域的粗糙度大于所述第二区域。本发明加热器的制备方法通过对加热器支撑基体表面上对应的第一区域和第二区域进行表面粗糙度的精细控制，在导电材料层沉积在加热器支撑基体表面上后，导电材料层附着在第一区域,第二区域上导电材料的可以实现自然脱落或通过小刀等简易工具去除，操作简单，图案美观，且导电材料层边缘齐整，不起层，使加热器的成品率高，增加经济效益。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 加热器 支撑 基体 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种加热器支撑基体的制备方法，其特征在于，包括：/n制备基体本体；/n对所述基体本体进行处理，使所述基体本体的表面形成第一区域和第二区域，且所述第一区域的粗糙度大于所述第二区域。/n
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
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