[发明专利]一种射频电源在审
| 申请号： | 201910844168.3 | 申请日： | 2019-09-06 |
| 公开（公告）号： | CN110460246A | 公开（公告）日： | 2019-11-15 |
| 发明（设计）人： | 乐卫平;张桂东 | 申请（专利权）人： | 深圳市百世达半导体设备有限公司;深圳市恒运昌真空技术有限公司 |
| 主分类号： | H02M7/04 | 分类号： | H02M7/04;H02M3/335;H02M1/12;G01K7/00;G01K13/00 |
| 代理公司： | 11227 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人： | 高勇<国际申请>=<国际公布>=<进入国 |
| 地址： | 518102广东省深圳市宝安区西乡街*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种射频电源，该射频电源中，在对功率调整及阻抗匹配模块输出的射频交流电进行采集时，充分考虑到环境温度对采样的影响，从而设置了恒温采样电路，恒温采样电路将其所处的环境温度保持在预设温度范围内，并采集射频交流电，以便后续根据该射频交流电调整输出至负载的射频交流电，从而尽量减小甚至避免了环境温度对射频交流电的影响，提高了射频交流电的采集精度，也提高了射频电源的输出电源的精度，减少了射频电源的输出电源的调整时间。 | ||
| 搜索关键词： | 射频交流电 射频电源 采样电路 输出电源 采集 阻抗匹配模块 功率调整 温度保持 输出 采样 减小 预设 | ||
【主权项】：
1.一种射频电源，其特征在于，包括：/n用于将交流电转换为射频直流电的整流模块；/n分别与所述整流模块及负载连接、用于根据第一处理器的控制对所述射频直流电进行逆变、功率调整及阻抗匹配，得到射频交流电并输出至负载的功率调整及阻抗匹配模块；/n与所述功率调整及阻抗匹配模块的输出端连接、用于将自身所处环境温度保持在预设温度范围内并采集所述射频交流电的恒温采样电路；/n分别与所述功率调整及阻抗匹配模块及所述恒温采样电路连接的所述第一处理器，用于根据所述射频交流电控制所述功率调整及阻抗匹配模块。/n
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